확산 펌프의 시작 압력은 일반적으로 대기압으로, 약 760 Torr(101kPa)입니다.
이는 높은 진공 수준을 달성하기 위해 챔버의 압력을 낮추기 위해 펌프가 작동하기 시작하는 초기 압력입니다.
4가지 핵심 사항 설명
1. 초기 압력 및 펌프다운 시퀀스
일반적인 설정에서 고진공을 달성하는 과정은 대기압에서 시작됩니다.
처음에는 양변위 펌프를 사용하여 대기압 수준(760 Torr, 101 kPa)에서 약 25 Torr(3 kPa)까지 압력을 낮춥니다.
이 단계는 챔버에서 가스의 대부분을 제거하기 때문에 매우 중요합니다.
2. 확산 펌프 사용
초기 압력 감소 후에는 확산 펌프와 같은 보다 전문화된 펌프가 사용됩니다.
확산 펌프는 일반적으로 10-2~10-6 토르 범위의 매우 낮은 압력을 달성하도록 설계되었습니다.
다른 펌프로 압력을 관리 가능한 수준으로 낮춘 후 확산 펌프가 진공 조건을 더욱 세밀하게 조정할 수 있을 때 특히 효과적입니다.
3. 작동 요구 사항
확산 펌프는 독립적으로 작동하지 않으며, 확산 펌프의 입구에서 더 낮은 압력을 유지하기 위해 배압 펌프(보통 기계식 펌프)가 필요합니다.
이 설정을 통해 디퓨전 펌프는 초기 고압에 압도되지 않고 원하는 고진공 수준으로 압력을 효과적으로 낮출 수 있습니다.
4. 시스템 구성
진공 시스템의 특정 요구 사항에 따라 다양한 펌프 구성을 사용할 수 있습니다.
예를 들어, 2단계 시스템은 대기압에서 시작하여 여러 펌프를 조합하여 4.5 x 10-2 토르의 압력에 도달할 수 있습니다.
확산 펌프가 있는 3단계 시스템은 8.0 x 10-6 Torr와 같이 더 낮은 압력을 목표로 할 수 있습니다.
요약하면, 진공 시스템에서 확산 펌프의 시작 압력은 대기압이며, 이 압력에서 시스템을 점진적으로 배기하여 원하는 고진공 조건을 달성합니다.
사용되는 펌프의 순서와 유형은 특정 진공 요구 사항과 취급하는 재료의 특성에 따라 달라집니다.
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