스퍼터 코팅은 주로 다양한 기판에 얇은 기능성 코팅을 적용하는 데 사용되는 물리적 기상 증착 공정입니다. 이 공정은 이온 충격으로 인해 대상 표면에서 물질이 방출된 후 이 물질이 기판에 증착되어 강력한 원자 수준의 결합을 형성하는 과정을 포함합니다. 스퍼터 코팅의 주요 용도는 전자, 광학 및 태양광 기술과 같이 내구성이 뛰어나고 균일한 박막이 필요한 산업에서 사용됩니다.
프로세스 설명:
스퍼터 코팅 공정은 플라즈마를 형성하는 스퍼터링 음극의 전기 충전으로 시작됩니다. 이 플라즈마는 일반적으로 이온 충격을 통해 대상 표면에서 물질을 방출합니다. 음극에 결합되거나 클램핑된 대상 물질은 자석을 사용하여 균일하게 침식됩니다. 분출된 물질은 분자 수준에서 운동량 전달 과정을 통해 기판으로 향하게 됩니다. 충격이 가해지면 고에너지 표적 물질이 기판 표면으로 밀려 들어가 원자 수준에서 강력한 결합을 형성하여 단순한 표면 코팅이 아닌 기판의 영구적인 일부가 됩니다.응용 분야:
- 스퍼터 코팅은 다양한 산업 분야에서 폭넓게 활용되고 있습니다:
- 전자 및 반도체: 스퍼터링은 반도체 산업에서 집적 회로 공정에서 다양한 재료의 박막을 증착하는 데 광범위하게 사용됩니다. 컴퓨터 하드 디스크 생산과 CD 및 DVD 제작에 매우 중요합니다.
- 광학: 광학 애플리케이션을 위한 유리의 얇은 반사 방지 코팅은 일반적으로 스퍼터링 기술을 사용하여 증착됩니다. 이 기술은 이중창 어셈블리용 유리의 저방사율 코팅 생산에도 사용됩니다.
- 태양광 기술: 스퍼터링은 태양광 패널과 효율적인 태양광 태양전지를 제조하는 데 있어 핵심적인 공정입니다. 태양전지의 성능을 향상시키는 재료를 증착하는 데 사용됩니다.
- 자동차 및 장식 코팅: 스퍼터링은 질화 티타늄과 같은 스퍼터링 질화물을 사용하는 공구 비트 코팅과 같은 자동차 코팅 및 장식용 애플리케이션에 사용됩니다.
건축용 유리: 스퍼터 코팅은 건축용 및 반사 방지 유리 코팅에 사용되어 건물의 유리의 미적 및 기능적 특성을 향상시킵니다.
이점:
