스퍼터링 타겟은 주로 물리적 기상 증착(PVD)으로 알려진 공정에서 다양한 기판에 박막을 증착하는 데 사용됩니다. 이 기술은 전자, 광학, 재생 에너지를 비롯한 여러 산업에서 매우 중요한 기술입니다.
반도체:
스퍼터링 타겟은 반도체 생산에서 중요한 역할을 합니다. 마이크로칩, 메모리 칩, 프린트 헤드, 평판 디스플레이에 전도성 층을 만드는 데 사용됩니다. 이 공정에는 반도체 장치의 무결성과 성능을 유지하기 위해 높은 화학적 순도와 야금학적 균일성을 보장해야 하는 금속 합금을 사용해야 합니다.유리 코팅:
건축 산업에서는 저방사율(Low-E) 유리를 생산하기 위해 스퍼터링 타겟을 사용합니다. 이러한 유형의 유리는 통과하는 적외선과 자외선의 양을 줄이기 위해 코팅되어 에너지를 절약하고 빛을 제어하며 미관을 개선하는 데 도움이 됩니다. 코팅은 유리 표면에 얇은 재료 층을 증착하는 스퍼터링 공정을 통해 적용됩니다.
태양 전지 코팅:
재생 에너지에 대한 수요가 증가함에 따라 박막 태양전지 제조에 스퍼터링 타겟이 사용되고 있습니다. 이러한 3세대 태양 전지는 스퍼터 코팅 기술을 사용하여 만들어지며, 이를 통해 태양광을 전기로 변환하는 전지의 능력을 향상시키는 재료를 정밀하게 적용할 수 있습니다.광학 애플리케이션:
스퍼터링은 유리에 얇은 층을 증착하여 특성을 변경하는 광학 응용 분야에도 활용됩니다. 여기에는 제조되는 광학 장치의 특정 요구 사항에 따라 유리의 반사율, 투과율 또는 내구성을 향상시키는 것이 포함될 수 있습니다.