열 증발은 다양한 기판에 금속과 비금속의 박막을 만드는 데 사용되는 방법입니다.
이 공정은 고진공 환경에서 이루어지므로 정밀하고 깨끗한 코팅이 필요한 애플리케이션에 이상적입니다.
열 증착의 3가지 주요 응용 분야
1. 공정 개요
가열: 증착할 재료는 줄 가열을 사용하여 고진공 챔버에서 가열됩니다.
이 가열은 일반적으로 저항성 보트 또는 코일을 통해 이루어집니다.
재료는 증발점에 도달할 때까지 가열되어 기화됩니다.
기화: 기화되면 재료는 챔버 내에서 구름을 형성합니다.
진공 환경은 다른 원자와의 충돌과 반응을 최소화하여 효율적인 기화를 가능하게 합니다.
증착: 기화된 재료는 챔버를 가로질러 이동하여 소스 위에 위치한 기판 위에 증착됩니다.
기판은 일반적으로 효율적인 코팅을 위해 가열된 소스를 아래로 향하도록 배치됩니다.
2. 응용 분야
전기 접점: 열 증착은 일반적으로 전기 접점에 은이나 알루미늄과 같은 단일 금속을 증착하는 데 사용됩니다.
이러한 금속은 전도성과 안정적이고 저항이 낮은 접점을 형성하는 능력 때문에 선택됩니다.
박막 장치: 이 기술은 OLED, 태양 전지, 박막 트랜지스터와 같은 박막 디바이스 제작에도 사용됩니다.
예를 들어, 이러한 장치의 성능에 중요한 금속 접촉층을 증착하는 데 사용할 수 있습니다.
복합 증착: 고급 응용 분야에서는 여러 구성 요소를 함께 증착해야 합니다.
이는 서로 다른 재료를 포함하는 개별 도가니의 온도를 세심하게 제어하여 다양한 재료를 동시에 증착할 수 있도록 함으로써 달성할 수 있습니다.
3. 재료의 다양성
열 증착은 다양한 재료를 증착할 수 있습니다.
여기에는 알루미늄, 은, 니켈, 크롬, 마그네슘, 금 등이 포함되지만 이에 국한되지 않습니다.
이러한 다용도성 덕분에 광범위한 산업 및 과학 응용 분야에 적합합니다.
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