진공 열 증발은 고체 물질에 박막을 형성하고 성장시키는 데 사용되는 증착 공정입니다. 이 기술은 단순하고 효과적이기 때문에 실험실과 산업 환경 모두에서 널리 적용됩니다.
프로세스 개요:
이 공정은 대상 물질을 매우 높은 온도에 노출시켜 승화 또는 끓게 하여 증기를 형성하는 것으로 시작됩니다. 그런 다음 이 증기는 진공 환경을 통해 기판으로 이송됩니다. 기판에 도달하면 증기는 응축되어 단단한 박막을 형성합니다. 이 증착 사이클을 반복하여 박막의 성장과 핵 형성을 향상시킬 수 있습니다.열 증발에 의한 진공 코팅 방법:
- 열 증발은 두 가지 주요 방법을 통해 이루어질 수 있습니다:
- 전기 가열: 전선을 사용하거나 녹는점이 높은 재료로 만든 전도성 도가니에서 재료를 전기적으로 가열합니다. 이 방법은 고온에서 상당한 증기압이 필요한 재료에 적합합니다.
보트형 증발기: 이는 산화물을 증발시키는 데 특별히 사용됩니다. 보트 모양은 가열 및 기화 과정을 용이하게 합니다.
열 증발용 진공 시스템:
진공 시스템은 생산된 박막의 품질에 중요한 역할을 합니다. 코팅 장치에 필요한 기본 압력 범위는 10^-7 ~ 10^-5 mbar입니다. 최신 시스템은 일반적으로 1시간 이내에 필요한 기본 압력으로 챔버를 비울 수 있는 터보 분자 펌프를 사용합니다. 이러한 펌프는 종종 로터리 베인 펌프 또는 다른 유형의 건식 펌프에 의해 지원됩니다. 증착 공정을 제어하고 층의 재현성을 보장하기 위해 증착기 위에는 셔터도 사용됩니다.애플리케이션 및 재료:
