열 증착은 재료의 박막을 증착하는 데 사용되는 기술입니다.
이 기술은 고진공 환경에서 재료를 증발점까지 가열하는 것을 포함합니다.
이렇게 하면 재료가 고체 또는 액체 상태에서 증기 상태로 전환됩니다.
그런 다음 기화된 분자는 기판으로 이동하여 박막 코팅을 형성합니다.
이 공정은 일반적으로 알루미늄, 은, 니켈, 크롬, 마그네슘 등의 소재에 사용됩니다.
열 증발원이란 무엇인가요? 5가지 주요 방법 설명
1. 필라멘트 증발
필라멘트 증발은 간단한 전기 발열체 또는 필라멘트를 사용합니다.
전류를 통과시켜 저항성 물질을 가열하는 과정인 줄 가열을 통해 물질을 가열합니다.
이 방법을 저항성 증발이라고도 합니다.
2. 전자 빔 또는 전자 빔 증발
이 방법에서는 전자 빔이 소스 물질을 겨냥하여 직접 가열합니다.
전자 빔의 높은 에너지로 인해 물질이 증발하여 기체 상태가 됩니다.
이 방법은 가열 공정을 정밀하게 제어할 수 있으며 필라멘트 가열로 증발하기 어려운 재료에 사용할 수 있습니다.
3. 열 분자 교반
열 증발은 열 분자 교반 원리를 기반으로 합니다.
물질에 열을 가하면 분자의 에너지가 증가합니다.
에너지가 열역학적 포텐셜을 초과하면 분자가 수증기로 표면에서 빠져나갑니다.
이 원리는 물 증발과 같은 자연적인 과정과 유사하지만 제어된 고진공 환경에서 적용되어 재료의 박막을 증착합니다.
4. 평형 증기압(EVP)
진공 상태에서 재료가 증발하기 시작하는 평형 증기압(EVP)은 약 10-2 토르입니다.
티타늄과 같은 일부 재료는 녹는점에 가까운 온도에서 승화하거나 증발할 수 있어 열 증발 공정에 적합합니다.
5. 응용 분야 및 장점
열 증착은 상대적으로 높은 증착 속도, 실시간 속도 및 두께 제어, 우수한 증발물 흐름 방향 제어 등 여러 가지 장점을 제공합니다.
따라서 직접 패턴 코팅을 달성하기 위한 리프트오프와 같은 공정에 적합합니다.
이 기술은 전자 제품부터 다양한 산업 분야의 코팅에 이르기까지 다목적이며 간단합니다.
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