열 증발에서 널리 사용되는 보트는 일반적으로 이붕화 티타늄과 질화 붕소로 구성된 2성분 세라믹 보트입니다. 이 조합은 고온을 견디고 전기 전도성을 유지하며 용융 금속, 특히 알루미늄에 대해 불활성을 유지하는 능력 때문에 선택됩니다.
자세한 설명:
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재료 구성: 증발 보트는 이붕화 티타늄(TiB2)과 질화 붕소(BN)의 혼합물로 만들어집니다. 이붕화 티타늄은 내열성이 뛰어나고 비철금속 용융물에 불활성이기 때문에 선택되었습니다. 또한 알루미늄 기상 증착과 관련된 공정에 필수적인 액체 알루미늄으로 보트의 습윤성을 향상시킵니다. 질화붕소는 비전도성 물질이기 때문에 보트의 전기 저항을 조정하기 위해 첨가됩니다.
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기능: 증발 보트의 주요 기능은 증발할 물질(일반적으로 알루미늄과 같은 금속)을 담는 용기 역할을 하는 것입니다. 보트와 지속적으로 공급되는 금속 와이어가 전류의 흐름에 의해 고진공 조건에서 가열되는 전기 저항 히터 역할을 합니다. 이 가열 공정은 와이어를 녹인 후 증발시켜 박막 증착을 촉진합니다.
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운영 요구 사항: 보트는 포함된 재료의 증발 온도보다 훨씬 높은 온도에서 작동해야 합니다. 이 요건은 재료의 효율적이고 일관된 증발을 보장합니다. 보트의 설계와 재료 구성은 용융 금속의 성능 저하나 반응 없이 이러한 고온을 유지하는 데 매우 중요합니다.
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다목적성 및 맞춤화: 증발 보트는 사용 편의성과 다양한 용량으로 인해 다양한 박막 코팅 공정에서 널리 사용됩니다. 특정 요구 사항에 맞게 맞춤 제작할 수 있어 다양한 재료 및 증발 속도와의 호환성을 보장합니다.
요약하면, 열 증발에서 증발 보트는 높은 내열성, 전기 전도성 및 화학적 불활성을 결합한 특정 세라믹 혼합물로 만들어진 핵심 구성 요소로, 고진공 조건에서 재료를 취급하고 증발시키는 데 이상적입니다.
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