열 증발원에는 주로 텅스텐, 탄탈륨 또는 몰리브덴과 같은 재료로 만든 보트, 바스켓, 필라멘트 및 코팅 막대가 포함됩니다. 이러한 소스의 가열 방법은 전기 발열체를 사용하는 필라멘트 증발 또는 전자 빔이 소스 재료를 가열하는 전자 빔(E-Beam) 증발이 있습니다.
보트 는 일반적인 유형의 열 증발 소스이며 다양한 크기로 제공됩니다. 보트가 클수록 일반적으로 동일한 증착 속도에 더 높은 전력이 필요하지만 더 높은 최대 증착 속도를 처리할 수 있습니다.
필라멘트 증착 은 간단한 전기 발열체 또는 필라멘트를 사용하여 소스 재료를 가열하는 방식입니다. 이 방법은 간단하며 필라멘트의 저항에 의존하여 열을 발생시킵니다.
전자빔 증발 은 전자 빔을 사용하여 소스 재료를 직접 가열하여 증발시킵니다. 이 방법은 내화성이거나 증발에 더 높은 온도가 필요한 재료에 특히 유용합니다.
박막 증착 시스템 은 높은 증착 속도, 실시간 속도 및 두께 제어, 증착제 스트림의 우수한 방향 제어 등의 이점을 제공하며, 이는 리프트 오프와 같은 공정에서 직접 패턴 코팅을 달성하는 데 유용합니다.
열 증착 재료 에는 금, 은, 티타늄, 이산화규소, 텅스텐, 구리 등 다양한 물질이 포함됩니다. 이러한 재료는 증기압에 따라 녹는점에 가까운 온도에서 승화하거나 증발할 수 있습니다.
열 증발 기술의 개발은 1912년 처음 사용된 이래 전자빔 증발과 플라즈마로의 증발이 도입되어 반응성 증발로 기술이 확장되는 등의 발전으로 크게 발전해 왔습니다.
요약하면, 열 증발 소스는 다양한 재료의 증착에 매우 중요하며 전기 필라멘트 또는 전자 빔으로 가열됩니다. 이러한 소스는 고온 재료로 만들어지며 증착 과정에서 발생하는 열을 견딜 수 있도록 설계됩니다. 소스 및 가열 방법의 선택은 증착되는 재료의 특정 요구 사항과 원하는 증착 특성에 따라 달라집니다.
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