열 증발 소스는 다양한 재료를 증착하는 데 필수적입니다.
이러한 소스에는 주로 보트, 바구니, 필라멘트 및 코팅 막대가 포함됩니다.
일반적으로 텅스텐, 탄탈륨 또는 몰리브덴과 같은 재료로 만들어집니다.
이러한 소스의 가열 방법은 필라멘트 증발 또는 전자빔(E-Beam) 증발입니다.
5가지 주요 유형 설명
1. 보트
보트는 일반적인 유형의 열 증발 소스입니다.
다양한 크기로 제공됩니다.
일반적으로 보트가 클수록 동일한 증착 속도에 더 높은 전력이 필요합니다.
그러나 더 높은 최대 증착 속도를 처리할 수 있습니다.
2. 필라멘트 증착
필라멘트 증발은 간단한 전기 발열체를 사용합니다.
이 방법은 간단하며 필라멘트의 저항에 의존하여 열을 발생시킵니다.
3. 전자빔 증발
전자빔 증발은 전자빔을 사용하여 소스 재료를 직접 가열합니다.
이 방법은 내화성이거나 증발에 더 높은 온도가 필요한 재료에 특히 유용합니다.
4. 박막 증착 시스템
박막 증착 시스템은 높은 증착률과 같은 장점을 제공합니다.
또한 실시간 속도 및 두께 제어가 가능합니다.
증착제 스트림의 방향 제어가 우수하면 리프트 오프와 같은 공정에서 직접 패턴 코팅을 달성하는 데 유리합니다.
5. 열 증착 재료
열 증착 재료에는 금, 은, 티타늄, 이산화 규소, 텅스텐, 구리 등 다양한 물질이 포함됩니다.
이러한 물질은 증기압에 따라 녹는점 근처의 온도에서 승화하거나 증발할 수 있습니다.
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