탄화규소(SiC)는 넓은 밴드 갭, 높은 열전도율, 높은 전자 이동도, 우수한 항복 전기장 강도 등의 고유한 특성으로 인해 반도체 산업 내 다양한 응용 분야에서 활용되고 있습니다. 이러한 특성 덕분에 SiC는 실리콘(Si) 및 갈륨비소(GaAs)와 같은 기존 소재의 한계를 극복하는 전력 반도체 장치에 이상적인 소재입니다.
반도체 제조 장비:
SiC는 서셉터, 슬립 링, 리프트 핀, 전극, 포커스 링, 챔버 라이너 등 반도체 제조 장비용 부품을 제작하는 데 사용됩니다. 이러한 구성 요소는 급속 열 처리(RTP), 플라즈마 식각, 화학 기상 증착(CVD), 에피택시, 이온 주입, 리소그래피 및 다양한 세척 방법과 같은 공정에서 매우 중요합니다. 이러한 애플리케이션에서 SiC를 사용하는 이유는 반도체 제조 공정에서 흔히 발생하는 고온 및 부식성 환경에 대한 내성 때문입니다.전력 반도체 장치:
SiC의 특성은 높은 효율과 전력 밀도가 필요한 애플리케이션에 필수적인 전력 장치에 탁월한 소재입니다. 다이오드 및 트랜지스터와 같은 SiC 전력 디바이스는 실리콘보다 더 높은 온도, 주파수 및 전압에서 작동할 수 있습니다. 이 기능은 효율성과 신뢰성이 가장 중요한 전기 자동차, 재생 에너지 시스템, 산업용 모터 드라이브에 특히 유용합니다.
전도성 세라믹:
SiC 세라믹을 전도성 세라믹으로 만들면 가공성이 향상되고 방전 가공이 가능합니다. 이는 특히 크기가 크거나 복잡한 모양의 SiC 세라믹 부품을 제조할 때 유용합니다. SiC 세라믹의 저항을 100Ω-cm 이하로 낮추면 정확하고 빠르게 가공할 수 있어 복잡한 부품을 쉽게 생산할 수 있습니다.부식성 환경:
SiC는 화학적 및 물리적 안정성이 뛰어나 발전소의 탈황 노즐이나 화학 펌프의 부품 등 부식성 환경에 노출되는 부품에 이상적인 소재입니다. 이러한 애플리케이션은 산, 알칼리 및 기타 부식성 매체에 대한 SiC의 내성을 통해 장기간 유지보수 없이 작동할 수 있다는 이점을 누릴 수 있습니다.
고온 애플리케이션:
SiC는 산업용 용광로의 전기 발열체, 세라믹 및 유리 산업의 가마 가구와 같은 고온 응용 분야에서 널리 사용됩니다. 열전도율이 높고 열충격에 강하기 때문에 이러한 까다로운 환경에 적합합니다.
국방 및 군사:
