진공 시스템의 원리는 진공 챔버에서 공기, 가스 및 기타 분자를 제거하여 저압 환경을 조성하는 것을 중심으로 돌아갑니다.이는 펌프, 밸브 및 기타 구성 요소가 함께 작동하여 챔버를 비우는 방식으로 이루어집니다.이 시스템은 넓은 압력 범위에서 작동하며, 고진공 펌프는 압력이 감소함에 따라 출구 쪽에서 분자를 제거합니다.주요 구성 요소로는 기계식 펌프, 확산 펌프, 로터리 베인 홀딩 펌프, 전기 공압 밸브가 있으며, 이를 통해 챔버의 효율적이고 제어된 배기를 총체적으로 보장합니다.
핵심 사항을 설명합니다:
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기본 작동 원리:
- 진공 시스템의 기본 원리는 진공 챔버에서 공기, 가스 및 기타 분자를 제거하여 저압 환경을 조성하는 것입니다.
- 이 프로세스는 압력이 감소함에 따라 점점 더 어려워지며, 일반적으로 1.3~13.3 mbar의 넓은 압력 범위에서 시스템이 작동해야 합니다.
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진공 시스템의 구성 요소:
- 기계식 펌프:초기 황삭에 사용되며 황삭 펌프와 부스터의 조합을 포함합니다.챔버의 초기 배출을 담당합니다.
- 확산 펌프:이 펌프는 다우코닝 유체를 사용하여 배출구 쪽에서 분자를 제거하여 고진공을 생성합니다.낮은 압력을 달성하는 데 효과적입니다.
- 로터리 베인 홀딩 펌프:이 펌프는 진공 레벨에 도달한 후에도 진공 레벨을 유지하여 시스템의 안정성을 보장합니다.
- 직각 포핏 밸브:전기 공압식으로 작동하는 이 밸브는 가스의 흐름을 제어하고 시스템이 효율적으로 작동하도록 합니다.
- 분압 기능:이 시스템은 아르곤이나 질소와 같은 불활성 가스를 처리할 수 있어 필요한 경우 환경을 제어할 수 있습니다.
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압력 범위 및 도전 과제:
- 챔버에서 분자를 효과적으로 제거하려면 시스템이 넓은 압력 범위에서 작동해야 합니다.
- 압력이 낮아질수록 추가 분자를 제거하기가 더 어려워지므로 더욱 정교한 펌핑 메커니즘과 정밀한 제어가 필요합니다.
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시리즈 구성:
- 고진공 펌프는 배기 프로세스를 개선하기 위해 직렬로 연결되는 경우가 많습니다.이러한 구성을 통해 배출구 쪽에서 분자를 제거할 수 있어 시스템의 전반적인 효율성이 향상됩니다.
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제어 환경의 중요성:
- 아르곤이나 질소와 같은 불활성 가스를 처리하는 능력은 제어된 환경이 필요한 응용 분야에서 매우 중요합니다.이 기능은 진공 시스템을 다양한 산업 및 과학 분야에서 사용할 수 있도록 보장합니다.
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전기 공압 작동:
- 전자공압 밸브를 사용하면 시스템 내 가스의 흐름을 정밀하게 제어할 수 있습니다.이러한 정밀도는 원하는 진공 수준을 유지하고 시스템이 효율적으로 작동하는 데 필수적입니다.
요약하면, 진공 시스템의 원리는 챔버에서 공기와 가스를 제거하여 저압 환경을 조성하는 것입니다.이는 기계식 및 확산 펌프, 로터리 베인 홀딩 펌프, 전기 공압 밸브의 조합을 통해 이루어집니다.이 시스템은 넓은 압력 범위에서 작동하고 불활성 가스를 처리할 수 있어 다양한 응용 분야에 다용도로 사용할 수 있습니다.고진공 펌프의 직렬 구성으로 효율성이 향상되고 전기 공압식 작동으로 시스템을 정밀하게 제어할 수 있습니다.
요약 표:
| 구성 요소 | 기능 |
|---|---|
| 기계식 펌프 | 챔버의 초기 황삭 및 배기. |
| 확산 펌프 | 다우코닝 유체를 사용하여 고진공을 달성합니다. |
| 로터리 베인 홀딩 펌프 | 시스템 안정성을 위해 진공 수준을 유지합니다. |
| 직각 포핏 밸브 | 효율적인 작동을 위한 가스 흐름의 전기 공압 제어. |
| 분압 기능 | 통제된 환경에서 아르곤이나 질소와 같은 불활성 가스를 처리합니다. |
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