진공 시스템은 가스 압력이 낮은 공간을 만들고 유지하도록 설계되었습니다. 이 압력은 대기압보다 훨씬 낮습니다. 이 시스템은 밀폐된 공간에서 가스 분자를 제거하거나 이동시켜 진공을 생성함으로써 이를 달성합니다.
4가지 주요 단계 설명
1. 진공 생성 단계
초기 황삭 단계
공정은 황삭 펌프로 시작됩니다. 이 펌프는 대기압에서 수 파스칼까지 작동합니다. 챔버가 대기압일 때 사용됩니다. 이 펌프의 역할은 압력을 관리 가능한 수준으로 빠르게 낮추는 것입니다.
고진공 단계
압력이 충분히 낮아지면 고진공 펌프가 사용됩니다. 이 펌프는 확산 또는 터보 분자 펌프일 수 있습니다. 이러한 펌프는 10억분의 1 파스칼 범위의 압력을 달성합니다. 이 펌프는 매우 낮은 압력을 처리하도록 설계되었으며 일반적으로 황삭 펌프와 직렬로 연결됩니다.
2. 진공 펌프의 종류
포지티브 변위 펌프
이 펌프는 기계적으로 많은 양의 가스를 가둔 다음 챔버에서 배출하는 방식으로 작동합니다. 저진공 및 중간 진공을 만드는 데 효과적입니다.
운동량 전달 펌프
유체 또는 기계 장치의 운동 에너지를 사용하여 기체 분자를 챔버 밖으로 밀어냅니다. 저압 영역을 생성합니다.
포집 펌프
응축, 승화 또는 이온화와 같은 공정을 통해 기체 분자를 포집합니다. 매우 높은 진공에 사용됩니다.
3. 진공 제어 및 유지보수
진공 시스템에는 다양한 밸브와 게이지가 장착되어 있습니다. 이러한 밸브는 가스의 흐름을 제어하고 챔버 내의 압력을 모니터링합니다. 이러한 밸브의 적절한 순서는 오일 및 기타 오염 물질이 챔버로 역류하는 것을 방지하는 데 매우 중요합니다.
이 시스템에는 트랩과 홀딩 펌프도 포함됩니다. 이는 확산 펌프 포드라인의 압력을 낮게 유지합니다. 이를 통해 진공의 무결성을 보장합니다.
4. 응용 분야 및 이점
진공을 생성하면 다양한 응용 분야에 사용할 수 있습니다. 여기에는 박막 코팅, 진공로, 입자 가속기 등이 포함됩니다. 저압 환경은 오염을 최소화하고 열 증발 속도를 향상시킵니다. 따라서 정밀한 화학 성분과 특수 박막에 이상적입니다.
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