스퍼터링은 에너지가 있는 이온에서 고체 대상 물질의 원자로의 운동량 전달에 의존하는 공정입니다.
이 전달은 이러한 원자가 기체 상으로 방출되는 결과를 낳습니다.
이 공정은 박막 증착과 다양한 분석 기술에 필수적입니다.
스퍼터링은 어떤 전달을 기반으로 할까요? 5가지 핵심 사항 설명
1. 이온 폭격
스퍼터링 공정에서 불활성 기체(일반적으로 아르곤)의 이온은 전기장에 의해 표적 물질을 향해 가속됩니다.
이러한 이온은 양전하를 띠고 있으며 음전하를 띠는 타겟에 빠른 속도로 끌어당겨집니다.
2. 운동량 전달
충격이 가해지면 에너지가 있는 이온은 그 운동량을 표적 물질의 원자로 전달합니다.
이 전달은 부분적으로 비탄성적이므로 이온의 운동 에너지 중 일부가 표적 물질 내에서 진동 에너지로 변환됩니다.
3. 표적 원자의 방출
전달된 운동량은 표적 원자 사이의 결합 에너지를 극복하기에 충분합니다.
이로 인해 원자는 재료 격자에서 코팅 챔버 내의 기체 상태로 방출됩니다.
이러한 원자 방출을 스퍼터링이라고 합니다.
4. 기판 위에 증착
스퍼터링된 원자 또는 입자는 진공 공간을 가로질러 이동하여 기판 위에 증착되어 박막을 형성합니다.
이 증착은 가시선에 의해 발생하거나 입자가 다시 이온화되어 전기적 힘에 의해 기판으로 가속될 수 있습니다.
5. 다양한 응용 분야
스퍼터링은 소스 재료를 녹일 필요가 없기 때문에 다양한 방향과 복잡한 모양에 적용할 수 있습니다.
따라서 다양한 유형의 표면을 코팅할 수 있는 다목적 방법입니다.
계속 탐색하고 전문가와 상담하세요
킨텍솔루션의 첨단 스퍼터링 시스템으로 박막 증착 및 분석의 최첨단 세계를 탐험해 보세요.
당사의 최첨단 기술은 에너지 이온의 운동량 전달력을 활용하여 업계에서 타의 추종을 불허하는 정밀도와 다목적성을 제공합니다.
혁신과 성능이 만나는 킨텍 솔루션으로 연구 수준을 높이십시오.
지금 바로 연락하여 코팅 및 분석 기술을 혁신해 보십시오!
