스퍼터링 타겟은 재료의 특성과 용도에 맞는 다양한 공정을 사용하여 제조됩니다. 일반적인 방법으로는 진공 열간 압착, 냉간 압착 및 소결, 진공 용융 및 주조 등이 있습니다. 공정은 원재료의 선택과 준비로 시작하여 소결 또는 용융을 통해 혼합 또는 합금한 다음 원하는 품질을 얻기 위해 연삭하는 순서로 진행됩니다. 각 생산 로트는 엄격한 분석 테스트를 거치며, 각 선적 시 분석 인증서가 함께 제공됩니다.
자세한 설명:
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재료 선택 및 준비:
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제조 공정은 스퍼터링 타겟의 원하는 특성에 따라 적절한 원료를 선택하는 것으로 시작됩니다. 이러한 재료는 금속, 합금 또는 산화물, 질화물, 탄화물과 같은 화합물인 경우가 많습니다. 이러한 원재료의 순도와 품질은 스퍼터링 타겟의 성능에 직접적인 영향을 미치므로 매우 중요합니다.혼합 및 합금:
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요구 사항에 따라 원료를 혼합하거나 합금할 수 있습니다. 이 공정은 일관된 스퍼터링 결과를 보장하는 균질한 재료를 만드는 데 매우 중요합니다. 혼합은 기계적 수단을 통해 이루어질 수 있지만, 합금은 통제된 조건에서 재료를 함께 녹이는 경우가 많습니다.
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소결 및 용융:
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혼합 또는 합금 후 재료는 소결 또는 용융 공정을 거칩니다. 소결은 재료를 녹는점 이하로 가열하여 입자를 서로 결합하고, 용융은 재료를 완전히 액화하여 주조하는 과정을 포함합니다. 이러한 공정은 일반적으로 오염을 방지하고 고순도를 보장하기 위해 진공 또는 제어된 분위기에서 수행됩니다.성형 및 성형:
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소결 또는 주조된 재료는 일반적으로 디스크 또는 시트와 같은 원하는 모양으로 성형됩니다. 이는 열간 프레스, 냉간 프레스, 압연 또는 단조와 같은 다양한 방법을 통해 이루어질 수 있습니다. 방법 선택은 재료의 특성과 대상의 사양에 따라 달라집니다.
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연삭 및 마감:
기본 형상이 형성되면 대상은 필요한 치수와 표면 마감을 얻기 위해 연삭 및 마감 공정을 거칩니다. 이 단계는 표면 결함이 증착된 필름의 균일성과 품질에 영향을 미칠 수 있으므로 타겟이 스퍼터링 공정에서 잘 작동하도록 보장하는 데 매우 중요합니다.
품질 관리 및 분석:
