스퍼터링 타겟은 마이크로 일렉트로닉스, 태양전지, 광전자 등 다양한 산업에서 필수적인 구성 요소입니다.
이러한 타겟을 제조하려면 높은 성능과 신뢰성을 보장하도록 설계된 일련의 정밀한 공정이 필요합니다.
스퍼터링 타겟이 어떻게 만들어지는지 5가지 주요 단계로 나누어 자세히 살펴보세요.
고품질 스퍼터링 타겟 생산을 위한 5가지 핵심 단계
1. 재료 선택 및 준비
제조 공정은 올바른 원료를 선택하는 것으로 시작됩니다.
이러한 재료는 금속, 합금 또는 산화물, 질화물, 탄화물과 같은 화합물인 경우가 많습니다.
이러한 재료의 순도와 품질은 스퍼터링 타겟의 성능에 직접적인 영향을 미치므로 매우 중요합니다.
2. 혼합 및 합금
원료를 혼합하거나 합금하여 균일한 재료를 만듭니다.
이 공정은 일관된 스퍼터링 결과를 보장합니다.
혼합은 기계적 수단을 통해 이루어질 수 있지만, 합금은 제어된 조건에서 재료를 함께 녹이는 경우가 많습니다.
3. 소결 및 용융
혼합 또는 합금 후 재료는 소결 또는 용융 공정을 거칩니다.
소결은 재료를 녹는점 이하로 가열하여 입자를 서로 결합하는 과정을 포함합니다.
용융은 주조를 위해 재료를 완전히 액화시킵니다.
이러한 공정은 일반적으로 오염을 방지하고 고순도를 보장하기 위해 진공 또는 제어된 분위기에서 수행됩니다.
4. 성형 및 성형
소결 또는 주조된 재료는 일반적으로 디스크 또는 시트와 같은 원하는 모양으로 성형됩니다.
이는 열간 프레스, 냉간 프레스, 압연 또는 단조와 같은 방법을 통해 이루어질 수 있습니다.
방법 선택은 재료의 특성과 대상의 사양에 따라 달라집니다.
5. 연삭 및 마감
기본 형상이 형성되면 타겟은 연삭 및 마감 공정을 거칩니다.
이 단계에서는 타겟이 필요한 치수와 표면 마감을 충족하는지 확인합니다.
표면 결함은 증착된 필름의 균일성과 품질에 영향을 미칠 수 있으므로 이 단계는 매우 중요합니다.
6. 품질 관리 및 분석
스퍼터링 타겟의 각 배치는 품질 표준 준수를 보장하기 위해 다양한 분석 테스트를 거칩니다.
이러한 테스트에는 밀도, 순도 및 미세 구조 측정이 포함될 수 있습니다.
각 배송에는 타겟의 특성과 품질을 자세히 설명하는 분석 인증서가 함께 제공됩니다.
7. 포장 및 배송
마지막으로 스퍼터링 타겟은 운송 및 보관 중 손상을 방지하기 위해 조심스럽게 포장됩니다.
그런 다음 스퍼터링 공정에서 사용할 수 있도록 고객에게 배송됩니다.
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