고품질 박막 증착을 달성하려면 스퍼터링 타겟을 청소하는 것이 중요합니다.
다음은 스퍼터링 타겟을 깨끗하고 사용할 준비가 되었는지 확인하기 위한 단계별 가이드입니다.
스퍼터링 타겟은 어떻게 청소하나요? 4가지 필수 단계 및 주의 사항
1단계: 보풀이 없는 부드러운 천에 아세톤을 적셔 청소합니다.
이렇게 하면 타겟 표면에 있을 수 있는 먼지나 오물을 제거하는 데 도움이 됩니다.
2단계: 알코올로 청소하기
이 단계는 대상에 남아 있는 오염 물질이나 잔여물을 제거하는 데 도움이 됩니다.
3단계: 탈이온수로 청소하기
탈이온수를 사용하여 대상에 남아있는 불순물이나 잔여물이 완전히 제거되도록 합니다.
4단계: 오븐에서 대상 건조
탈이온수로 세척한 후 대상을 오븐에 넣고 100℃에서 30분간 건조시킵니다.
이 단계는 나중에 사용하기 전에 타겟이 완전히 건조되었는지 확인하는 데 중요합니다.
스퍼터링 공정 중 주의사항
1. 스퍼터 준비
진공 챔버와 스퍼터링 시스템을 깨끗하게 유지하는 것이 중요합니다.
잔류물이나 오염 물질이 있으면 필름 고장이나 시스템 단락의 가능성이 높아질 수 있습니다.
2. 타겟 설치
타겟과 스퍼터 건 안정화 벽 사이의 열 연결이 양호한지 확인합니다.
냉각 스테이브 또는 백킹 플레이트가 휘어지면 열 전도성에 영향을 미치고 타겟이 갈라지거나 구부러질 수 있습니다.
3. 스퍼터링 가스 청결 유지
아르곤 또는 산소와 같은 스퍼터링 가스는 코팅의 조성 특성을 유지하기 위해 깨끗하고 건조해야 합니다.
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