스퍼터링 타겟의 두께는 여러 요인에 따라 달라질 수 있습니다.
이러한 요인에는 사용되는 재료와 생성되는 박막의 특성이 포함됩니다.
니켈과 같은 자성 재료의 마그네트론 스퍼터링의 경우 더 얇은 타겟이 사용됩니다.
일반적으로 두께가 1mm 미만인 포일 또는 시트가 사용됩니다.
일반 금속 타겟의 경우 최대 4~5mm의 두께가 허용되는 것으로 간주됩니다.
산화물 타겟도 마찬가지입니다.
스퍼터링 타겟의 크기와 모양도 매우 다양할 수 있습니다.
가장 작은 타겟은 직경이 1인치(2.5cm) 미만일 수 있습니다.
가장 큰 직사각형 타겟은 길이가 1미터(0.9미터)를 훨씬 넘을 수 있습니다.
경우에 따라 더 큰 타겟이 필요할 수도 있습니다.
제조업체는 특수 조인트로 연결된 세그먼트 타겟을 만들 수 있습니다.
스퍼터링 타겟에 일반적으로 사용되는 모양은 원형과 직사각형입니다.
정사각형 및 삼각형 디자인과 같은 다른 모양도 생산할 수 있습니다.
원형 타겟의 표준 크기는 직경 1" ~ 20" 범위입니다.
직사각형 타겟은 최대 2000mm 이상의 길이로 제공될 수 있습니다.
이는 금속과 단일 또는 다중 조각 구조인지 여부에 따라 다릅니다.
스퍼터링 타겟의 제작 방법은 타겟 재료의 특성과 용도에 따라 달라집니다.
진공 용융 및 압연, 열간 압착, 특수 프레스 소결 공정, 진공 열간 압착 및 단조 방법을 사용할 수 있습니다.
스퍼터링 타겟은 일반적으로 순수 금속, 합금 또는 산화물이나 질화물과 같은 화합물로 만들어진 고체 슬래브입니다.
스퍼터링으로 증착되는 코팅의 두께는 일반적으로 옹스트롬에서 미크론 범위입니다.
박막은 단일 재료일 수도 있고 여러 재료가 층층이 쌓인 구조일 수도 있습니다.
반응성 스퍼터링은 산소와 같은 비활성 기체를 원소 표적 물질과 함께 사용하는 또 다른 공정입니다.
이는 화학 반응을 일으켜 새로운 화합물 필름을 형성합니다.
요약하면, 스퍼터링 타겟의 두께는 재료와 용도에 따라 달라질 수 있습니다.
자성 재료의 경우 1mm 미만부터 일반 금속 및 산화물 타겟의 경우 최대 4~5mm까지 다양합니다.
스퍼터링 타겟의 크기와 모양도 매우 다양할 수 있습니다.
직경 1" ~ 20" 범위의 원형 타겟과 최대 2000mm 이상의 길이를 가진 직사각형 타겟이 있습니다.
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