스퍼터링 타겟의 두께는 사용되는 재료와 생성되는 박막의 특성에 따라 달라질 수 있습니다.
니켈과 같은 자성 재료의 마그네트론 스퍼터링에는 일반적으로 두께가 1mm 미만인 호일 또는 시트와 같이 더 얇은 타겟이 사용됩니다.
일반 금속 타겟의 경우, 최대 4~5mm의 두께가 허용되는 것으로 간주됩니다. 산화물 타겟에도 동일하게 적용됩니다.
스퍼터링 타겟의 크기와 모양도 매우 다양할 수 있습니다. 가장 작은 타겟은 직경이 1인치(2.5cm) 미만일 수 있으며, 가장 큰 직사각형 타겟은 길이가 1야드(0.9m)를 훨씬 넘을 수 있습니다. 경우에 따라 더 큰 타겟이 필요할 수 있으며, 제조업체는 특수 조인트로 연결된 세그먼트 타겟을 만들 수 있습니다.
스퍼터링 타겟에 일반적으로 사용되는 모양은 원형과 직사각형이지만 정사각형 및 삼각형 디자인과 같은 다른 모양도 제작할 수 있습니다.
원형 타겟의 표준 크기는 직경 1" ~ 20" 범위이며, 직사각형 타겟은 금속 및 단일 또는 다중 조각 구조에 따라 최대 2000mm 이상의 길이로 제공될 수 있습니다.
스퍼터링 타겟의 제작 방법은 타겟 재료의 특성과 용도에 따라 달라집니다. 진공 용융 및 압연, 열간 압착, 특수 프레스 소결 공정, 진공 열간 압착 및 단조 방법을 사용할 수 있습니다.
스퍼터링 타겟은 일반적으로 순수한 금속, 합금 또는 산화물이나 질화물과 같은 화합물로 만들어진 고체 슬래브입니다. 스퍼터링으로 증착되는 코팅의 두께는 일반적으로 옹스트롬에서 미크론 범위입니다. 박막은 단일 재료일 수도 있고 여러 재료가 적층된 구조일 수도 있습니다.
반응성 스퍼터링은 산소와 같은 비활성 기체를 원소 표적 물질과 결합하여 화학 반응을 일으키고 새로운 화합물 막을 형성하는 또 다른 공정입니다.
요약하면, 스퍼터링 타겟의 두께는 자성 재료의 경우 1mm 미만부터 일반 금속 및 산화물 타겟의 경우 최대 4~5mm까지 재료와 용도에 따라 달라질 수 있습니다. 스퍼터링 타겟의 크기와 모양도 매우 다양할 수 있으며, 원형 타겟은 직경이 1" ~ 20", 직사각형 타겟은 최대 2000mm 이상의 길이로 제공됩니다.
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