SEM용 스퍼터 코팅의 두께는 일반적으로 2~20나노미터(nm) 범위입니다. 이 초박막 코팅은 비전도성 또는 저전도성 시편에 적용되어 이미징 중 전하를 방지하고 신호 대 잡음비를 향상시킵니다. 금속(예: 금, 은, 백금 또는 크롬)의 선택은 시료의 특정 요구 사항과 수행 중인 분석 유형에 따라 달라집니다.
자세한 설명:
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스퍼터 코팅의 목적:
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스퍼터 코팅은 비전도성 또는 전도성이 낮은 시료에 전도성 층을 적용하기 때문에 SEM에 매우 중요합니다. 이 코팅은 이미지를 왜곡하거나 샘플을 손상시킬 수 있는 정전기장의 축적을 방지하는 데 도움이 됩니다. 또한 이차 전자의 방출을 증가시켜 SEM 이미지의 품질을 향상시킵니다.두께 범위:
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SEM용 스퍼터링 필름의 일반적인 두께는 2~20nm입니다. 이 범위는 코팅이 샘플의 미세한 디테일을 가리지 않을 정도로 얇으면서도 적절한 전도성을 제공할 수 있을 만큼 충분히 두꺼운 것을 보장하기 위해 선택됩니다. 저배율 SEM의 경우 10~20nm의 코팅으로 충분하며 이미징에 영향을 미치지 않습니다. 그러나 해상도가 5nm 미만인 고배율 SEM의 경우, 샘플 세부 사항을 가리지 않기 위해 더 얇은 코팅(최저 1nm)을 사용하는 것이 좋습니다.
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코팅 재료의 종류:
스퍼터 코팅에 사용되는 일반적인 재료로는 금, 은, 백금, 크롬이 있습니다. 각 재료는 시료와 분석 유형에 따라 특정 이점이 있습니다. 예를 들어, 금은 전도성이 뛰어나기 때문에 자주 사용되는 반면, 백금은 내구성 때문에 선택될 수 있습니다. 금속 코팅이 시료의 입자 구조 분석을 방해할 수 있는 X선 분광법 및 전자 후방 산란 회절(EBSD)의 경우 탄소 코팅이 선호되는 경우도 있습니다.
장비 및 기술:
