증착은 기체가 액상을 건너뛰고 바로 고체로 변하는 과정입니다.
이 과정은 고체가 먼저 액체가 되지 않고 바로 기체로 변하는 승화의 반대 개념으로 간주됩니다.
이해해야 할 5가지 핵심 사항
1. 증착 기술
증착 기술에는 물리적 기상 증착(PVD)과 화학 기상 증착(CVD)의 두 가지 주요 범주가 있습니다.
2. 물리적 기상 증착(PVD)
PVD에서 증기는 원자와 분자로 구성되어 기판 위에 응축되어 박막을 형성합니다.
이는 고체 물질이 증기로 바뀐 다음 기판에 응축되는 진공 증발과 같은 공정을 통해 달성할 수 있습니다.
3. 화학 기상 증착(CVD)
CVD는 기판에서 증기가 화학 반응을 일으켜 박막을 형성하는 과정을 포함합니다.
이 공정에서는 종종 기판이 높은 온도에 있어야 합니다.
플라즈마를 사용하여 기판 온도를 낮춰 공정을 지원할 수도 있습니다.
CVD 공정의 예로는 금속 유기 증기상 에피택시, 열분해, 환원, 산화, 화합물 형성, 불균형, 가역적 전사 등이 있습니다.
4. 증착 방법의 다양성
증착 방법은 원하는 증착 층의 두께와 관련된 특정 재료에 따라 달라질 수 있습니다.
표면에 개별 원자 또는 분자를 증착하는 박막 증착은 일반적으로 두께가 1미크론 미만인 층에 사용됩니다.
두꺼운 코팅 증착은 입자의 증착을 다루며 일반적으로 더 두꺼운 층을 포함합니다.
5. 증착 요약
요약하면 증착은 기체가 고체로 직접 변환되는 과정입니다.
증착은 물리적 또는 화학적 변형에 의해 주로 이루어지는 공정인지에 따라 물리적 기상 증착(PVD) 또는 화학 기상 증착(CVD) 기술을 통해 이루어질 수 있습니다.
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