산업용 진공 시스템은 진공 용기, 다양한 유형의 펌프(기계식, 부스터, 확산, 터보분자, 홀딩), 관련 배관, 매니폴드, 밸브, 진공 측정 장비 및 트랩을 포함하는 복잡한 설정입니다. 이러한 시스템은 포장, 가스 제거, 건조, 병입과 같은 공정을 위한 산업 제조에서 매우 중요합니다. 이러한 시스템은 챔버에서 공기, 가스 및 기타 분자를 제거하여 수많은 산업 및 과학 응용 분야에 필수적인 진공을 생성하는 기능을 합니다.
구성 요소 및 기능:
산업용 진공 시스템의 핵심은 여러 유형의 펌프에 연결된 진공 용기입니다. 이러한 펌프는 일반적으로 1.3~13.3 mbar의 넓은 압력 범위에서 작동하도록 설계되었습니다. 이 시스템에는 초기 진공 생성을 위한 기계식 펌프, 진공 수준을 높이기 위한 부스터 펌프, 고진공을 위한 확산 펌프, 매우 높은 진공 수준을 위한 터보 분자 펌프가 포함됩니다. 각 유형의 펌프는 진공 생성 공정에서 특정 기능을 수행하여 필요에 따라 진공 레벨을 유지하고 개선합니다.애플리케이션:
산업용 진공 시스템은 다목적이며 다양한 산업 분야에서 활용되고 있습니다. 제조업에서는 진공 탈기 공정, 복합 플라스틱 성형, 전기 램프, 진공관 및 CRT 생산에 사용됩니다. 반도체 산업에서는 이온 주입, 건식 식각 및 PVD, ALD, PECVD, CVD와 같은 증착 기술과 같은 공정에 필수적입니다. 또한 전자 현미경, 의료용 흡입 공정, 우라늄 농축, 방사선 치료 및 방사선 수술과 같은 의료 분야에서도 중요한 역할을 합니다. 또한 진공 펌프는 분석 기기 및 질량 분석기에서 정확한 분석에 필요한 진공 조건을 만드는 데 사용됩니다.
작동:
산업용 진공 펌프의 기본 작동 원리는 진공 챔버에서 공기 및 기타 분자를 제거하는 것입니다. 압력이 낮아질수록 추가 분자의 제거가 더 어려워지므로 원하는 진공 수준을 달성하고 유지하기 위해 여러 유형의 펌프를 직렬로 사용해야 합니다. 이러한 복잡성 덕분에 진공 시스템은 산업 환경에서 요구되는 광범위한 압력 범위에서 효과적으로 작동할 수 있습니다.
