스퍼터링과 도금은 모두 박막 증착에 사용되는 물리적 기상 증착(PVD) 기술이지만 메커니즘과 응용 분야가 다릅니다. 스퍼터링은 플라즈마를 사용하여 대상 물질에서 원자를 제거한 다음 기판에 증착하는 방식입니다. 반면 이온 도금은 열 증발과 스퍼터링의 측면을 결합하여 높은 전류를 사용하여 재료를 기화시키고 기판에 증착합니다.
스퍼터링:
스퍼터링은 코팅 종(타겟)과 기판 사이에 플라즈마가 생성되는 공정입니다. 이 플라즈마는 대상 물질에서 원자를 제거하는 데 사용됩니다. 그런 다음 제거된 원자를 기판 위에 증착하여 박막을 형성합니다. 이 기술은 반도체, CD, 디스크 드라이브 및 광학 장치의 박막 증착에 특히 효과적입니다. 스퍼터링된 필름은 균일성, 밀도, 순도 및 접착력이 뛰어난 것으로 알려져 있습니다. 또한 반응성 스퍼터링을 통해 정밀한 조성의 합금이나 산화물 및 질화물과 같은 화합물을 생산할 수 있습니다.이온 도금:
- 반면에 이온 도금은 열 증착과 스퍼터링을 결합한 하이브리드 기술입니다. 높은 전류를 사용하여 금속 재료를 기화시키고 금속 이온을 도구나 기판에 직접 분사하여 코팅합니다. 이 방법을 사용하면 단순 열 증발에 비해 접착력이 향상되고 코팅 밀도가 높아집니다. 이온 도금은 우수한 접착력과 밀도 높은 코팅이 필요할 때 자주 사용됩니다.비교:
- 메커니즘: 스퍼터링은 원자가 플라즈마에 의해 타겟에서 떨어지는 물리적 과정에 의존하는 반면, 이온 도금은 전류를 사용하여 재료를 기화 및 증착합니다.
- 응용 분야: 스퍼터링은 반도체 장치, 정보 디스플레이 장치 및 장식용 애플리케이션의 기능성 필름에 널리 사용됩니다. 이온 도금은 더 조밀하고 밀착력 있는 코팅을 제공할 수 있어 높은 내구성과 성능이 요구되는 분야에 사용됩니다.
장점
스퍼터링의 변형인 마그네트론 스퍼터링은 고밀도 구조, 넓은 스퍼터링 영역, 고에너지 원자로 인한 접착력 향상, 소형화, 핀홀 없음 등의 이점을 제공합니다. 이러한 장점으로 인해 많은 하이테크 애플리케이션에서 선호되는 방식입니다.
