RTP(급속 열처리)는 웨이퍼를 수 초 동안 1,000°C 이상으로 가열합니다. 이것이 칩 제조에서 정밀한 어닐링 및 실리사이드 형성을 어떻게 가능하게 하는지 알아보십시오.
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