수평 고온 교정로는 매우 안정적이고 균일한 온도장을 생성하여 실제 작동 환경을 시뮬레이션하기 위해 1500°C까지 도달할 수 있도록 함으로써 정확도를 보장합니다. 정밀 가이드 레일을 사용하여 센서를 정확하게 배치하고 표준 인덱싱 테이블과 비교함으로써 시스템은 박막 열전쌍의 출력 선형성과 반복성을 검증합니다.
이 맥락에서 정확도는 단순히 높은 열에 도달하는 것만이 아닙니다. 환경적 열화를로부터 섬세한 박막 구조를 보호하면서 균일한 열 "코어"를 유지하는 것입니다.
안정적인 열 환경 조성
균일한 온도장
이 로의 주요 기능은 안정적이고 균일한 온도장을 1500°C까지 생성하는 것입니다.
이러한 균일성은 측정 데이터를 왜곡할 수 있는 냉점이나 기울기를 제거합니다. 센서가 실제 작동 환경을 엄격하게 시뮬레이션하는 조건에서 테스트되도록 보장합니다.
선형성과 반복성
고정밀 온도 제어가 시스템 정확도의 핵심입니다.
열을 엄격하게 조절함으로써 이 로는 전압-온도 출력 곡선이 선형으로 유지되도록 합니다. 이러한 일관성은 보정 결과가 여러 테스트 주기 동안 반복 가능함을 보장하여 센서의 신뢰성을 확인합니다.
정밀 위치 지정 및 참조
가이드 레일을 통한 코어 배치
센서가 잘못 배치되면 열 균일성은 쓸모가 없습니다.
이 로는 정밀 가이드 레일을 사용하여 박막 열전쌍을 물리적으로 운반합니다. 이 메커니즘은 센서가 열 안정성이 가장 높은 온도장의 기하학적 "코어"에 정확하게 배치되도록 합니다.
제벡 계수 결정
보정은 근본적으로 비교 프로세스입니다.
시스템은 박막 열전쌍의 전압 출력을 표준 열전쌍 인덱싱 테이블과 비교합니다. 이 비교를 통해 센서의 민감도와 정확도를 정의하는 제벡 계수를 정확하게 계산할 수 있습니다.
고온에서 센서 무결성 보호
산화 문제
초고온, 특히 1200°C를 초과하는 온도에서는 환경 요인이 측정 정확도를 위협합니다.
미량의 산소는 금속 박막 층 또는 리드선 연결부와 반응할 수 있습니다. 백금과 같은 귀금속조차도 이러한 조건에서 산화되거나 벗겨져 전기적 특성이 변할 수 있습니다.
불활성 가스 차폐
이를 상쇄하기 위해 보정 설정은 아르곤 가스 공급 시스템을 사용합니다.
이는 불활성 보호 가스를 도입하여 챔버 내의 산소를 대체합니다. 산화를 방지함으로써 시스템은 전체 규모의 보정 프로세스 동안 센서의 전기적 무결성을 유지합니다.
절충점 이해
기계적 의존성
보정의 정확도는 기계 부품에 크게 의존합니다.
정밀 가이드 레일이 마모되거나 정렬이 틀어지면 센서가 실제 열 코어를 놓칠 수 있습니다. 이는 온도 제어기가 수정할 수 없는 위치 오류를 발생시킵니다.
환경 민감성
이 로는 1500°C에 도달할 수 있지만, 센서의 안전성은 불활성 분위기에 달려 있습니다.
최고 온도에서 아르곤 공급 시스템의 고장은 거의 즉시 박막 구조를 손상시킬 것입니다. 시스템은 유효한 보정 데이터를 보장하기 위해 가스 흐름을 지속적으로 모니터링해야 합니다.
보정 성공 보장
박막 열전쌍 보정의 정확도를 최대화하려면 특정 테스트 목표에 맞게 절차를 조정하십시오.
- 데이터 정밀도가 주요 초점인 경우: 가이드 레일의 기계적 정렬을 확인하여 센서가 균일한 열 코어 내에 엄격하게 안착되도록 보장합니다.
- 센서 보존이 주요 초점인 경우: 1200°C를 초과하는 모든 테스트에 대해 아르곤 가스 흐름을 엄격하게 모니터링하여 박막 층의 비가역적인 산화를 방지합니다.
정확한 열 제어가 엄격한 물리적 정렬 및 강력한 환경 보호와 일치할 때만 진정한 보정 정확도가 달성됩니다.
요약 표:
| 특징 | 정확도 기여도 | 기술적 이점 |
|---|---|---|
| 열 균일성 | 열 기울기 제거 | 1500°C까지 실제 조건 시뮬레이션 |
| 정밀 가이드 레일 | 정확한 센서 위치 지정 | 로의 열 코어 내 배치 보장 |
| 아르곤 가스 차폐 | 박막 산화 방지 | 귀금속 박막의 전기적 무결성 유지 |
| 인덱싱 비교 | 제벡 계수 검증 | 전압 출력의 선형성 및 반복성 보장 |
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참고문헌
- Fengxiang Wang, Chao Li. Fabrication and Calibration of Pt-Rh10/Pt Thin-Film Thermocouple. DOI: 10.3390/mi14010004
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