SEM용 스퍼터 코팅은 일반적으로 두께 범위가 2~20nm인 초박형 전기 전도성 금속 층을 적용합니다.
이 코팅은 비전도성 또는 전도성이 낮은 시편에 전하를 방지하고 SEM 이미징에서 신호 대 잡음비를 향상시키는 데 매우 중요합니다.
4가지 핵심 포인트 설명
1. 스퍼터 코팅의 목적
스퍼터 코팅은 주로 비전도성 또는 저전도성 시편에 얇은 전도성 금속 층을 적용하는 데 사용됩니다.
이 층은 SEM의 이미징 프로세스를 방해할 수 있는 정전기장의 축적을 방지하는 데 도움이 됩니다.
또한 시편 표면에서 이차 전자의 방출을 향상시켜 신호 대 잡음비와 SEM 이미지의 전반적인 품질을 개선합니다.
2. 일반적인 두께
스퍼터링된 필름의 두께는 일반적으로 2 ~ 20nm 범위입니다.
이 범위는 코팅이 시편의 미세한 디테일을 가리지 않을 정도로 얇으면서도 효과적인 전기 전도성을 제공하고 충전을 방지할 수 있을 만큼 충분히 두꺼운 것을 보장하기 위해 선택됩니다.
저배율 SEM의 경우 일반적으로 10~20nm의 코팅으로 충분하며 이미징에 큰 영향을 미치지 않습니다.
그러나 고배율 SEM, 특히 해상도가 5nm 미만인 경우 샘플 세부 사항을 가리지 않기 위해 더 얇은 코팅(1nm 이하)을 사용하는 것이 좋습니다.
3. 사용되는 재료
스퍼터 코팅에 사용되는 일반적인 금속에는 금(Au), 금/팔라듐(Au/Pd), 백금(Pt), 은(Ag), 크롬(Cr), 이리듐(Ir)이 있습니다.
이러한 재료는 전도성과 SEM의 이미징 조건을 개선하는 능력 때문에 선택됩니다.
경우에 따라 탄소 코팅이 선호될 수 있으며, 특히 코팅과 샘플의 정보 혼합을 피하는 것이 중요한 X선 분광학 및 전자 후방 산란 회절(EBSD)과 같은 애플리케이션의 경우 더욱 그렇습니다.
4. 스퍼터 코팅의 이점
SEM 시료에 대한 스퍼터 코팅의 장점은 빔 손상 감소, 열 전도 증가, 시료 충전 감소, 이차 전자 방출 개선, 에지 해상도 개선을 통한 빔 투과 감소, 빔에 민감한 시료 보호 등을 포함합니다.
이러한 이점은 SEM 이미징의 품질과 정확성을 총체적으로 향상시켜 특정 유형의 샘플을 SEM 분석을 위해 준비할 때 중요한 단계가 됩니다.
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