다양한 유형의 PVD 코팅기에는 다음이 포함됩니다:
1. 진공 이온 증착 코팅기: 이 유형의 PVD 코팅기는 이온화 공정을 사용하여 대상 물질을 증발시켜 기판에 증착합니다. 일반적으로 높은 정밀도와 균일성이 요구되는 애플리케이션에 사용됩니다.
2. 마그네트론 스퍼터링 코팅기: 마그네트론 스퍼터링 코팅기는 가스를 이온화하고 대상 물질을 향해 이온을 가속하여 플라즈마를 형성하는 마그네트론 스퍼터링 공정을 사용합니다. 이온은 대상 물질에서 원자를 제거한 다음 기판에 증착합니다. 이 방법은 다양한 재료를 코팅할 수 있는 다용도성 및 능력으로 잘 알려져 있습니다.
3. MBE 분자 빔 에피택시 코팅기: MBE는 분자 또는 원자 빔을 사용하여 고진공 환경에서 재료를 증착하는 PVD 코팅 방법입니다. 이 공정을 통해 박막 성장을 정밀하게 제어할 수 있으며 반도체 산업에서 고품질 에피택시 층을 생산하기 위해 일반적으로 사용됩니다.
4. PLD 레이저 스퍼터링 증착 코팅기: PLD는 레이저를 사용하여 대상 재료를 제거한 후 기판에 증착하는 PVD 코팅 기술입니다. 레이저 에너지는 대상 재료를 기화시킨 다음 기판에 응축시킵니다. 이 방법은 복잡한 재료 및 구조의 박막 증착에 자주 사용됩니다.
이러한 다양한 유형의 PVD 코팅 기계는 다양한 이점을 제공하며 응용 분야의 특정 요구 사항에 따라 선택됩니다. 항공우주, 자동차, 의료 분야를 포함한 다양한 산업에 내마모성 향상, 경도 증가, 미적 외관 개선과 같은 이점을 제공할 수 있습니다.
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