금속 상호 연결 시스템을 제작할 때 스퍼터링은 증착에 비해 몇 가지 장점이 있습니다.
증착 대비 스퍼터링 사용의 두 가지 장점
1. 더 나은 필름 품질 및 균일성
스퍼터링은 증착에 비해 우수한 품질과 균일성을 가진 필름을 생산하는 것으로 알려져 있습니다.
이는 스퍼터링이 에너지 입자로 대상 물질에 충격을 가하기 때문입니다.
따라서 소재가 기판에 보다 균일하게 증착됩니다.
결과물인 필름은 표면 전체에 걸쳐 더욱 균일합니다.
이러한 균일성은 일관된 전기적 특성이 필수적인 금속 상호 연결 시스템에서 매우 중요합니다.
2. 필름 두께 및 구성에 대한 손쉬운 제어
스퍼터링을 사용하면 증착된 필름의 두께를 보다 정밀하게 제어할 수 있습니다.
이는 증착 시간과 작동 파라미터를 조정하여 달성할 수 있습니다.
합금 조성 및 스텝 커버리지와 입자 구조와 같은 기타 필름 특성을 제어하는 것은 증착보다 스퍼터링이 더 간단합니다.
이러한 제어는 특정 재료 특성이 효과적으로 작동해야 하는 금속 상호 연결 시스템을 만드는 데 필수적입니다.
또한 스퍼터링은 융점이 매우 높은 재료의 증착을 가능하게 합니다.
이러한 재료는 증발이 어렵거나 불가능합니다.
이를 통해 인터커넥트 시스템에 사용할 수 있는 재료의 범위가 넓어집니다.
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