요약: 금속 상호 연결 시스템을 만들기 위해 증착이 아닌 스퍼터링을 사용하면 필름 품질과 균일성이 향상되고 필름 두께와 구성을 쉽게 제어할 수 있다는 두 가지 이점이 있습니다.
자세한 설명:
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더 나은 필름 품질과 균일성: 스퍼터링은 증착에 비해 우수한 품질과 균일성을 가진 필름을 생산하는 것으로 알려져 있습니다. 이는 스퍼터링이 에너지 입자로 대상 물질에 충격을 가하여 기판에 물질을 보다 균일하게 증착하기 때문입니다. 결과물인 필름은 표면 전체가 더 균일하여 제조 공정에서 더 높은 수율로 이어질 수 있습니다. 이러한 균일성은 일관된 전기적 특성이 필수적인 금속 상호 연결 시스템에서 매우 중요합니다.
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필름 두께 및 구성에 대한 손쉬운 제어: 스퍼터링을 사용하면 증착 시간과 작동 파라미터를 조정하여 증착된 필름의 두께를 보다 정밀하게 제어할 수 있습니다. 또한 합금 조성 및 스텝 커버리지와 입자 구조와 같은 기타 필름 특성을 제어하는 것은 증착보다 스퍼터링이 더 간단합니다. 이러한 제어는 특정 재료 특성이 효과적으로 작동해야 하는 금속 상호 연결 시스템을 만드는 데 필수적입니다. 또한 스퍼터링은 증발이 어렵거나 불가능한 매우 높은 융점을 가진 재료를 증착할 수 있어 인터커넥트 시스템에 사용할 수 있는 재료의 범위를 확장할 수 있습니다.
이러한 장점으로 인해 스퍼터링은 정밀도, 균일성 및 재료 특성에 대한 제어가 중요한 금속 인터커넥트 시스템을 만드는 데 선호되는 방법입니다.
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