CVD 튜브 퍼니스 또는 화학 기상 증착 튜브 퍼니스는 고온 실험 및 공정, 특히 화학 기상 증착(CVD)과 관련된 실험을 위해 설계된 특수한 실험실 장비입니다.
이 유형의 퍼니스는 고정 튜브 리액터를 수용하는 수직 챔버가 특징입니다.
진공 또는 보호 대기 조건에서 와이어 형태의 재료에 대한 담금질 테스트를 수행할 수 있어 실험실 및 산업 응용 분야 모두에 다용도로 사용할 수 있습니다.
CVD 튜브 용광로에 대해 알아야 할 5가지 주요 기능
1. 설계 및 구조
- 수직 챔버: 이 퍼니스는 증착 공정을 정밀하게 제어하는 데 필수적인 수직 스탠딩 챔버를 갖추고 있습니다.
- 고정 튜브 리액터: 이 구성 요소는 성공적인 증착을 위해 재료가 올바른 조건에 노출되도록 보장하여 CVD 실험을 수행하는 데 매우 중요합니다.
2. 온도 제어 및 균일성
- 원통형 챔버: 퍼니스에는 일반적으로 원통형 챔버 또는 고알루미나 섬유가 늘어선 두 개의 반원통형 챔버가 있어 온도 균일성을 유지하는 데 도움이 됩니다.
- 난방 시스템: 강력한 만능 히터가 장착된 퍼니스는 우수한 온도 균일성을 보장하며, 이는 CVD 공정에서 일관된 결과를 얻기 위해 매우 중요합니다.
3. 진공 및 가스 관리
- 진공 튜브: 퍼니스에는 SS KF 플랜지가 있는 진공 튜브가 포함되어 있어 효율적인 진공 펌핑과 가스 퍼징이 가능합니다. 이는 CVD에 필요한 환경을 조성하는 데 필수적입니다.
- 대기 보호: 진공 또는 보호 대기 조건에서 작동할 수 있어 다양한 실험 요구에 따라 CVD 튜브 퍼니스의 활용도를 높일 수 있습니다.
4. 마이크로프로세서 PID 제어
- 빠른 가열 및 냉각: 마이크로프로세서 PID로 제어되는 퍼니스는 빠른 가열 및 냉각 사이클을 가능하게 하여 시간에 민감한 실험에 유용합니다.
- 낮은 에너지 소비: 효율적인 제어 시스템으로 에너지 사용량을 줄여 장기간 사용해도 비용 효율적입니다.
5. 재료 및 온도 범위
- 석영 및 알루미나 튜브: 이 퍼니스는 직경 25mm~300mm, 최대 온도 1200°C의 석영 튜브와 직경 25mm~100mm, 최대 온도 1700°C의 알루미나 튜브를 지원합니다. 이 넓은 범위는 다양한 재료와 실험 요구 사항을 수용합니다.
응용 분야 및 특징
- CVD 공정: CVD 튜브 퍼니스의 주요 응용 분야는 기판 표면에서 가스가 반응하여 코팅 또는 나노 물질을 합성하는 화학 기상 증착입니다.
- 다목적성: 대학, 연구 기관 및 산업 환경에서 고온 소결, 환원 및 CVD/CVI 실험을 위해 사용됩니다. 특히 진공 코팅, 나노 필름 준비, 나노 와이어 성장 및 배터리 재료 가공에 적합합니다.
안전 및 유지보수
- 안전 제어: 적절한 안전 관리 및 감독 없이 수소나 메탄과 같은 폭발성 가스를 사용하지 않는 것이 중요합니다.
- 유지보수: 시간이 지남에 따라 내화 세라믹 표면에 작은 균열이 나타날 수 있으며, 알루미나 코팅으로 수리하여 장비의 수명을 보장할 수 있습니다.
요약하자면, CVD 튜브 퍼니스는 화학 기상 증착과 관련된 정밀한 고온 실험을 위해 설계된 정교한 장비입니다.
디자인, 온도 제어 기능, 다용도성 덕분에 연구 및 산업 분야 모두에서 필수적인 도구입니다.
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