스퍼터링은 반도체, 광학 장치, 표면 마감 등 다양한 산업에서 사용되는 박막 증착 공정입니다. 고에너지 입자에 의한 충격으로 대상 물질에서 기판으로 원자를 방출하는 방식입니다. 이 기술은 물리적 기상 증착(PVD)의 한 형태이며 1800년대 초부터 사용되어 왔으며, 수년에 걸쳐 상당한 발전과 혁신을 거듭해 왔습니다.
프로세스 세부 정보:
스퍼터링에서는 제어된 가스(일반적으로 아르곤)가 진공 챔버에 도입됩니다. 전압이 가해져 플라즈마가 생성되고 음극 역할을 하는 대상 물질이 아르곤 이온에 의해 충격을 받습니다. 이 충격으로 인해 타겟의 원자가 방출되어 양극 역할을 하는 기판 위에 증착됩니다. 이렇게 생성된 박막은 균일성, 밀도, 접착력이 뛰어나 다양한 응용 분야에 적합합니다.변형 및 응용 분야:
스퍼터링은 음극 스퍼터링, 다이오드 스퍼터링, RF 또는 DC 스퍼터링, 이온빔 스퍼터링, 반응성 스퍼터링 등 다양한 유형으로 분류할 수 있습니다. 이러한 변화에도 불구하고 기본적인 프로세스는 동일하게 유지됩니다. 스퍼터링의 다용도성 덕분에 반사 코팅, 반도체 장치 및 나노 기술 제품을 만드는 데 사용할 수 있습니다. 또한 매우 미세한 재료 층에 작용할 수 있기 때문에 정밀한 에칭 및 분석 기술에도 사용됩니다.
역사적, 기술적 중요성:
