스퍼터 코터의 기능은 기판에 매우 얇고 기능적인 코팅을 적용하는 것입니다. 주사 전자 현미경(SEM)의 경우, 스퍼터 코팅은 금이나 백금과 같은 얇은 금속 층을 시료에 증착하여 분석할 시료를 준비하는 데 사용됩니다. 이 프로세스는 전도도를 개선하고, 전기 충전 효과를 줄이며, 전자빔에 대한 구조적 보호 기능을 제공하는 데 도움이 됩니다.
스퍼터 코팅은 제어된 방식으로 시료에 증착되는 금속 플라즈마를 생성하는 과정을 포함합니다. 음극에 결합되거나 클램핑된 대상 물질은 전기적으로 충전되어 플라즈마를 형성하고 대상 표면에서 물질이 방출됩니다. 자석을 사용하여 안정적이고 균일한 재료 침식을 보장합니다. 고에너지 타겟 재료는 기판에 충격을 가하여 원자 수준에서 매우 강력한 결합을 형성합니다. 이는 코팅된 재료가 단순한 표면 코팅이 아니라 기판의 영구적인 일부가 된다는 것을 의미합니다.
스퍼터 코팅의 장점으로는 전도도 향상, 충전 효과 감소, 이차 전자 방출 향상 등이 있습니다. 공정 중에 생성되는 안정적인 플라즈마는 보다 균일한 증착을 보장하여 일관되고 내구성 있는 코팅을 제공합니다. 스퍼터 코팅은 일반적으로 태양광 패널, 건축용 유리, 마이크로 일렉트로닉스, 항공 우주, 평판 디스플레이 및 자동차 산업과 같은 다양한 응용 분야에서 사용됩니다.
전반적으로 스퍼터 코팅기의 기능은 주사 전자 현미경으로 관찰할 시편을 대표하는 전기 전도성 박막을 제공하는 것입니다. 이 필름은 충전을 억제하고 열 손상을 줄이며 이차 전자 방출을 향상시킵니다.
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