RF 스퍼터 증착에 일반적으로 사용되는 주파수는 13.56MHz입니다. 이 주파수는 여러 가지 이유로 선택됩니다:
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규정 준수: 국제전기통신연합(ITU)은 통신 서비스에 대한 간섭을 방지하기 위해 13.56MHz를 산업, 과학 및 의료(ISM) 기기용 주파수로 지정했습니다. 이 할당에 따라 RF 스퍼터링 장비는 비통신 애플리케이션을 위해 특별히 예약된 주파수 대역 내에서 작동합니다.
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이온-표적 상호 작용의 효율성: 13.56MHz의 주파수는 스퍼터링 중에 아르곤 이온이 표적 물질로 운동량을 전달할 수 있는 충분한 시간을 허용할 만큼 충분히 낮습니다. 이 주파수에서 이온은 RF 필드의 다음 사이클이 시작되기 전에 타겟에 도달하여 상호 작용할 수 있는 충분한 시간을 갖습니다. 이러한 상호 작용은 타겟 물질의 효과적인 스퍼터링에 매우 중요합니다.
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전하 축적 방지: RF 스퍼터링에서 교류 전위는 특히 절연 재료를 다룰 때 타겟에 전하가 쌓이는 것을 방지하는 데 도움이 됩니다. RF의 포지티브 사이클 동안 전자는 타겟에 끌어당겨 음의 바이어스를 부여합니다. 음의 주기 동안에는 이온 폭격이 계속되어 타겟이 전기적으로 중성 상태를 유지하도록 하고 물방울 형성과 같은 부작용을 방지합니다.
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널리 인정받는 표준: 효과와 국제 규정 준수를 고려하여 13.56MHz가 RF 스퍼터링의 표준 주파수가 되었습니다. 이 표준화는 스퍼터링 장비의 설계와 작동을 단순화할 뿐만 아니라 다양한 시스템 및 구성 요소의 호환성을 간소화합니다.
요약하면, RF 스퍼터 증착에 13.56MHz가 선택된 것은 규제 준수, 이온-표적 상호 작용의 효율성, 전하 축적을 방지하는 능력, 업계에서 널리 인정받는 표준으로서의 지위 때문이었습니다.
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