RF 스퍼터 증착에 일반적으로 사용되는 주파수는 13.56MHz입니다.
이 주파수는 여러 가지 이유로 선택됩니다.
13.56MHz가 RF 스퍼터 증착의 표준 주파수인 4가지 주요 이유
1. 규제 준수
국제전기통신연합(ITU)은 13.56MHz를 산업, 과학 및 의료(ISM) 기기용 주파수로 지정했습니다.
이 할당은 통신 서비스에 대한 간섭을 방지합니다.
따라서 RF 스퍼터링 장비는 비통신 애플리케이션을 위해 특별히 예약된 주파수 대역 내에서 작동합니다.
2. 이온-표적 상호 작용의 효율성
13.56MHz의 주파수는 스퍼터링 중에 아르곤 이온이 표적 물질로 운동량을 전달할 수 있는 충분한 시간을 허용할 만큼 충분히 낮습니다.
이 주파수에서 이온은 RF 필드의 다음 사이클이 시작되기 전에 타겟에 도달하여 상호 작용할 수 있는 충분한 시간을 갖습니다.
이러한 상호 작용은 타겟 물질의 효과적인 스퍼터링에 매우 중요합니다.
3. 전하 축적 방지
RF 스퍼터링에서 교류 전위는 특히 절연 재료를 다룰 때 타겟에 전하가 쌓이는 것을 방지하는 데 도움이 됩니다.
RF의 포지티브 사이클 동안 전자는 타겟에 끌어당겨 음의 바이어스를 부여합니다.
음의 주기 동안에는 이온 충격이 계속되어 타겟이 전기적으로 중성 상태를 유지하고 물방울 형성과 같은 부작용을 방지합니다.
4. 널리 인정받는 표준
효율성과 국제 규정 준수를 고려하여 13.56MHz가 RF 스퍼터링의 표준 주파수가 되었습니다.
이 표준화는 스퍼터링 장비의 설계와 작동을 간소화합니다.
또한 다양한 시스템과 구성 요소의 호환성을 보장합니다.
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