지식 스퍼터링에서 플라즈마에는 어떤 가스가 사용되나요? (4가지 핵심 포인트 설명)
작성자 아바타

기술팀 · Kintek Solution

업데이트됨 2 months ago

스퍼터링에서 플라즈마에는 어떤 가스가 사용되나요? (4가지 핵심 포인트 설명)

스퍼터링에서 플라즈마에 사용되는 가스는 일반적으로 불활성 가스입니다.

아르곤은 이러한 불활성 가스 중에서 가장 일반적이고 비용 효율적인 선택입니다.

아르곤, 크립톤, 크세논, 네온과 같은 불활성 가스는 대상 물질이나 기판과 반응하지 않기 때문에 선호됩니다.

이러한 가스는 관련 물질의 화학적 구성을 변경하지 않고 플라즈마 형성을 위한 매질을 제공합니다.

스퍼터링에서 플라즈마에는 어떤 가스가 사용되나요? (4가지 핵심 포인트 설명)

스퍼터링에서 플라즈마에는 어떤 가스가 사용되나요? (4가지 핵심 포인트 설명)

1. 불활성 가스 선택

불활성 가스는 표적 물질이나 기판과 화학적으로 반응하지 않아야 하기 때문에 스퍼터링에서 불활성 가스의 선택이 매우 중요합니다.

이를 통해 증착 공정이 화학적으로 안정적으로 유지되고 증착된 필름에 원치 않는 화합물이 유입되지 않도록 합니다.

아르곤은 가용성과 비용 효율성으로 인해 가장 일반적으로 사용되는 가스입니다.

아르곤은 스퍼터링 공정 중에 효율적인 운동량 전달을 가능하게 하는 적절한 원자량을 가지고 있어 높은 스퍼터링 및 증착 속도에 필수적입니다.

2. 플라즈마 형성

플라즈마는 진공 챔버 내에서 스퍼터링 가스를 이온화하여 생성됩니다.

가스는 일반적으로 수 밀리토르의 낮은 압력으로 도입되며, DC 또는 RF 전압이 적용되어 가스 원자를 이온화합니다.

이 이온화 과정은 양전하를 띤 이온과 자유 전자로 구성된 플라즈마를 형성합니다.

플라즈마 환경은 중성 기체 원자, 이온, 전자, 광자가 거의 평형 상태에 있는 동적인 환경입니다.

이 환경은 스퍼터링 공정에 필요한 에너지 전달을 용이하게 합니다.

3. 스퍼터링 공정

스퍼터링 중에 대상 물질은 플라즈마에서 이온으로 충격을 받습니다.

이러한 이온의 에너지 전달로 인해 대상 물질의 입자가 방출되어 기판 위에 증착됩니다.

재료가 타겟에서 제거되어 기판에 증착되는 속도인 스퍼터링 속도는 스퍼터 수율, 타겟의 몰 중량, 재료 밀도 및 이온 전류 밀도를 비롯한 여러 요인에 따라 달라집니다.

4. 가스 선택의 다양성

아르곤이 가장 일반적인 선택이지만, 스퍼터링 가스의 선택은 대상 물질의 원자량에 따라 맞춤화할 수 있습니다.

가벼운 원소의 경우 네온과 같은 가스가 선호될 수 있으며, 무거운 원소의 경우 크립톤 또는 크세논을 사용하여 모멘텀 전달을 최적화할 수 있습니다.

반응성 가스는 특정 스퍼터링 공정에서 특정 공정 파라미터에 따라 타겟 표면, 기내 또는 기판에 화합물을 형성하는 데 사용할 수도 있습니다.

계속 알아보기, 전문가와 상담하기

플라즈마 스퍼터링용 킨텍솔루션의 가스 솔루션의 정밀성과 효율성을 알아보세요!

고품질 아르곤, 크립톤, 크세논 및 네온을 포함한 당사의 불활성 가스는 고객의 스퍼터링 공정을 개선하고 우수한 박막 증착을 제공하도록 맞춤화되어 있습니다.

안정성, 비용 효율성 및 다양한 대상 물질에 대한 맞춤형 가스 옵션에 중점을 둔 킨텍 솔루션이 오늘 귀하의 플라즈마 스퍼터링 공정을 최적화해 드립니다.

지금 바로 문의하여 당사의 가스 솔루션과 스퍼터링 공정에서 최상의 결과를 얻을 수 있는 방법을 자세히 알아보십시오.

관련 제품

스파크 플라즈마 소결로 SPS 용광로

스파크 플라즈마 소결로 SPS 용광로

신속한 저온 재료 준비를 위한 스파크 플라즈마 소결로의 이점을 알아보세요. 균일한 가열, 저렴한 비용 및 친환경.

RF PECVD 시스템 무선 주파수 플라즈마 강화 화학 기상 증착

RF PECVD 시스템 무선 주파수 플라즈마 강화 화학 기상 증착

RF-PECVD는 "Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition"의 약어입니다. 게르마늄 및 실리콘 기판에 DLC(Diamond-like carbon film)를 증착합니다. 그것은 3-12um 적외선 파장 범위에서 활용됩니다.

탄화붕소(BC) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

탄화붕소(BC) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

실험실 요구 사항에 맞는 합리적인 가격으로 고품질 보론 카바이드 재료를 얻으십시오. 우리는 스퍼터링 타겟, 코팅, 분말 등을 포함하여 다양한 순도, 모양 및 크기의 BC 재료를 맞춤화합니다.

고순도 백금(Pt) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

고순도 백금(Pt) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

고순도 백금(Pt) 스퍼터링 타겟, 분말, 와이어, 블록 및 과립을 저렴한 가격에 제공합니다. 다양한 응용 분야에 사용할 수 있는 다양한 크기와 모양으로 특정 요구 사항에 맞게 조정됩니다.

수소분위기로

수소분위기로

KT-AH 수소 분위기 로 - 안전 기능, 이중 쉘 설계 및 에너지 절약 효율성이 내장된 소결/어닐링용 유도 가스 로. 실험실 및 산업용으로 이상적입니다.

고순도 붕소(B) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

고순도 붕소(B) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

특정 실험실 요구 사항에 맞는 저렴한 붕소(B) 재료를 얻으십시오. 당사의 제품은 스퍼터링 타겟에서 3D 프린팅 분말, 실린더, 입자 등에 이르기까지 다양합니다. 오늘 저희에게 연락하십시오.

고순도 탄소(C) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

고순도 탄소(C) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

실험실에 필요한 저렴한 탄소(C) 재료를 찾고 계십니까? 더 이상 보지 마세요! 당사의 전문적으로 생산되고 맞춤화된 재료는 다양한 모양, 크기 및 순도로 제공됩니다. 스퍼터링 타겟, 코팅 재료, 분말 등 중에서 선택하십시오.

고순도 팔라듐(Pd) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

고순도 팔라듐(Pd) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

실험실을 위한 저렴한 팔라듐 재료를 찾고 계십니까? 당사는 스퍼터링 타겟에서 나노미터 분말 및 3D 프린팅 분말에 이르기까지 다양한 순도, 모양 및 크기의 맞춤형 솔루션을 제공합니다. 지금 우리의 범위를 찾아보십시오!

고순도 납(Pb) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

고순도 납(Pb) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

실험실에 필요한 고품질 납(Pb) 재료를 찾고 계십니까? 스퍼터링 타겟, 코팅 재료 등을 포함하여 맞춤화할 수 있는 전문화된 옵션을 선택하십시오. 경쟁력 있는 가격을 원하시면 오늘 저희에게 연락하십시오!

고순도 인듐(In) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

고순도 인듐(In) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

실험실용 고품질 인듐 재료를 찾고 계십니까? 더 이상 보지 마세요! 우리의 전문성은 다양한 순도, 모양 및 크기의 맞춤형 인듐 재료를 생산하는 데 있습니다. 우리는 귀하의 고유한 요구 사항에 맞는 다양한 인듐 제품을 제공합니다. 지금 합리적인 가격으로 주문하세요!

고순도 이리듐(Ir) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

고순도 이리듐(Ir) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

실험실용 고품질 이리듐(Ir) 재료를 찾고 계십니까? 더 이상 보지 마세요! 당사의 전문적으로 생산되고 맞춤 제작된 재료는 고유한 요구 사항에 맞게 다양한 순도, 모양 및 크기로 제공됩니다. 당사의 다양한 스퍼터링 타겟, 코팅, 분말 등을 확인하십시오. 오늘 견적을 받아보세요!

전자총 빔 도가니

전자총 빔 도가니

전자총 빔 증발과 관련하여 도가니는 기판에 증착될 물질을 포함하고 증발시키는 데 사용되는 용기 또는 소스 홀더입니다.

구리 지르코늄 합금(CuZr) 스퍼터링 타겟/파우더/와이어/블록/과립

구리 지르코늄 합금(CuZr) 스퍼터링 타겟/파우더/와이어/블록/과립

귀하의 고유한 요구 사항에 맞춘 합리적인 가격의 다양한 Copper Zirconium Alloy 소재를 발견하십시오. 스퍼터링 타겟, 코팅, 분말 등을 찾아보십시오.

고순도 아연(Zn) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

고순도 아연(Zn) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

저렴한 가격에 실험실용 고품질 아연(Zn) 재료를 찾으십시오. 당사의 전문가들은 귀하의 필요에 맞게 다양한 순도, 모양 및 크기의 재료를 생산하고 맞춤화합니다. 당사의 다양한 스퍼터링 타겟, 코팅 재료 등을 찾아보십시오.

고순도 철(Fe) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

고순도 철(Fe) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

실험실에서 사용할 저렴한 철(Fe) 재료를 찾고 계십니까? 당사의 제품 범위에는 스퍼터링 타겟, 코팅 재료, 분말 등이 포함되며 고객의 특정 요구 사항을 충족하도록 맞춤화된 다양한 사양과 크기가 있습니다. 오늘 저희에게 연락하십시오!

고순도 은(Ag) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

고순도 은(Ag) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

실험실에 필요한 저렴한 은(Ag) 재료를 찾고 계십니까? 당사의 전문가들은 고유한 요구 사항에 맞게 다양한 순도, 모양 및 크기를 생산하는 것을 전문으로 합니다.

고순도 안티몬(Sb) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

고순도 안티몬(Sb) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

특정 요구 사항에 맞는 고품질 안티몬(Sb) 재료를 얻으십시오. 다양한 모양과 크기를 합리적인 가격으로 제공합니다. 당사의 스퍼터링 타겟, 분말, 호일 등을 찾아보십시오.

질화붕소(BN) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

질화붕소(BN) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

귀하의 실험실에 필요한 Boron Nitride 재료를 합리적인 가격에 쇼핑하십시오. 다양한 순도, 모양 및 크기로 고객의 요구 사항에 맞게 재료를 조정합니다. 다양한 사양과 크기 중에서 선택하십시오.

황화아연(ZnS) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

황화아연(ZnS) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

실험실에 필요한 저렴한 황화아연(ZnS) 재료를 구입하십시오. 우리는 다양한 순도, 모양 및 크기의 ZnS 재료를 생산하고 맞춤화합니다. 다양한 스퍼터링 타겟, 코팅 재료, 분말 등에서 선택하십시오.

불화 바륨(BaF2) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

불화 바륨(BaF2) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

불화바륨(BaF2) 소재를 합리적인 가격에 쇼핑하세요. 당사는 다양한 스퍼터링 타겟, 코팅 재료, 분말 등을 사용하여 고객의 요구에 맞게 조정합니다. 지금 주문하세요.

고순도 텅스텐(W) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

고순도 텅스텐(W) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

합리적인 가격으로 귀하의 실험실에 필요한 고품질 텅스텐(W) 재료를 찾으십시오. 당사는 스퍼터링 타겟, 코팅 재료, 분말 등의 맞춤형 순도, 모양 및 크기를 제공합니다.

텅스텐 티타늄 합금(WTi) 스퍼터링 타겟/파우더/와이어/블록/과립

텅스텐 티타늄 합금(WTi) 스퍼터링 타겟/파우더/와이어/블록/과립

합리적인 가격으로 실험실에서 사용할 수 있는 텅스텐 티타늄 합금(WTi) 소재를 찾아보십시오. 우리의 전문 지식을 통해 다양한 순도, 모양 및 크기의 맞춤형 재료를 생산할 수 있습니다. 다양한 스퍼터링 타겟, 분말 등에서 선택하십시오.

고순도 게르마늄(Ge) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

고순도 게르마늄(Ge) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

합리적인 가격으로 실험실 요구에 맞는 고품질 금 재료를 얻으십시오. 당사의 맞춤형 금 재료는 고유한 요구 사항에 맞게 다양한 모양, 크기 및 순도로 제공됩니다. 당사의 다양한 스퍼터링 타겟, 코팅 재료, 호일, 분말 등을 살펴보십시오.

고순도 알루미늄(Al) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

고순도 알루미늄(Al) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

합리적인 가격으로 실험실용 고품질 알루미늄(Al) 재료를 얻으십시오. 당사는 스퍼터링 타겟, 분말, 호일, 잉곳 등을 포함한 맞춤형 솔루션을 제공하여 고객의 고유한 요구 사항을 충족합니다. 지금 주문하세요!

고순도 탄탈륨(Ta) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

고순도 탄탈륨(Ta) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

실험실용 고품질 탄탈룸(Ta) 소재를 저렴한 가격에 만나보세요. 우리는 다양한 모양, 크기 및 순도로 고객의 특정 요구 사항에 맞게 조정합니다. 당사의 다양한 스퍼터링 타겟, 코팅 재료, 분말 등을 살펴보십시오.

고순도 주석(Sn) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

고순도 주석(Sn) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

실험실용 고품질 주석(Sn) 재료를 찾고 계십니까? 당사의 전문가들은 맞춤형 주석(Sn) 재료를 합리적인 가격에 제공합니다. 오늘 당사의 다양한 사양과 크기를 확인하십시오!


메시지 남기기