XRF(X-선 형광) 분석은 일반적으로 샘플을 1-1000µm 깊이까지 투과합니다. 침투 깊이는 시료에 포함된 원소의 원자량에 영향을 받으며, 가벼운 원소는 무거운 원소에 비해 더 깊은 수준에서 검출하기 어렵습니다. 이는 분석 중에 방출되는 특징적인 X선이 일반적으로 이러한 깊이의 표면 원자로 인해 발생하기 때문입니다. 다양한 깊이의 원소를 감지할 수 있는 능력은 정확한 분석을 위해 매우 중요한데, 이는 XRF 분광기가 수신하는 신호에 영향을 미치기 때문입니다. 일반적으로 원자 번호가 높은 고에너지 원소는 시료에서 더 깊은 탈출 깊이를 가지므로 저에너지 원소에 비해 더 깊은 층에서 검출할 수 있습니다. 이러한 깊이 감도는 XRF 분석 결과의 준비와 해석에 있어 핵심적인 요소입니다.
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