스퍼터링 타겟은 스퍼터 증착 공정에서 필수적인 구성 요소입니다. 타겟은 박막 생성을 위한 재료 소스를 제공합니다.
알아야 할 스퍼터링 타겟의 4가지 주요 유형
금속 스퍼터링 타겟
금속 스퍼터링 타겟은 순수한 금속 원소로 만들어집니다. 일반적으로 금속의 순도가 중요한 응용 분야에 사용됩니다. 여기에는 반도체 및 컴퓨터 칩 생산이 포함됩니다. 금속 타겟은 원하는 박막 특성에 적합한 모든 원소 금속이 될 수 있습니다.
합금 스퍼터링 타겟
합금 스퍼터링 타겟은 금속의 혼합물로 만들어집니다. 박막의 특정 특성을 달성하기 위해 합금을 선택합니다. 이러한 특성에는 경도 증가, 전도성 향상 또는 내식성 강화 등이 포함됩니다. 합금의 구성은 애플리케이션의 특정 요구 사항을 충족하도록 조정할 수 있습니다.
세라믹 스퍼터링 타겟
세라믹 스퍼터링 타겟은 비금속 화합물로 만들어집니다. 이러한 화합물은 일반적으로 산화물 또는 질화물입니다. 세라믹 타겟은 높은 경도와 내마모성을 가진 박막을 만드는 데 사용됩니다. 따라서 공구 및 절삭 기기의 응용 분야에 적합합니다. 세라믹 소재는 종종 열 및 전기 절연 특성을 제공합니다.
특수한 형태의 스퍼터링 타겟
스퍼터링 타겟의 모양은 전통적인 형태에서 보다 특수한 형태로 발전해 왔습니다. 예를 들어 회전 타겟은 원통형이며 보다 정밀한 박막 증착을 제공하도록 설계되었습니다. 이러한 타겟은 표면적이 더 넓기 때문에 증착 속도가 더 빠릅니다. 스퍼터링 타겟의 모양을 사용자 정의할 수 있으므로 특정 증착 시스템과 요구 사항에 더 잘 맞출 수 있습니다.
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