3존 퍼니스는 재료 과학, 반도체 제조, 항공우주 등 다양한 산업 분야의 소결 및 열처리와 같은 고온 공정을 위해 설계된 특수 가열 장치입니다.
이 퍼니스의 특징은 3개의 개별 가열 구역에 각각 열전대와 컨트롤러가 장착되어 있어 퍼니스 전체의 온도를 정밀하게 제어하고 균일하게 유지할 수 있다는 것입니다.
4가지 주요 기능 설명
1. 디자인 및 기능
3존 퍼니스는 길이를 따라 3개의 개별 가열 구역이 있는 튜브형 구조로 되어 있습니다.
각 구역에는 산소가 있는 상태에서 고온에서 형성되는 산화물 층(SiO2)으로 보호되는 몰리브덴 디실리사이드(MoSi2)로 만든 전용 발열체가 포함되어 있습니다.
이 층은 발열체의 열적 또는 화학적 부식을 방지하는 데 도움이 됩니다.
퍼니스는 열전도율이 낮은 고급 재료로 단열되어 에너지 효율과 빠른 가열 속도를 보장합니다.
2. 온도 제어 및 균일성
퍼니스의 각 구역은 개별 열전대와 컨트롤러로 제어됩니다.
이 설정은 가스를 예열하거나 퍼니스의 여러 구역 내에서 특정 온도 조건을 유지해야 하는 공정에 특히 유리합니다.
각 구역을 독립적으로 제어하면 단일 구역 퍼니스에 비해 온도 균일성이 향상되므로 재료 가공 및 합성에서 일관된 결과를 얻는 데 매우 중요합니다.
3. 응용 분야 및 장점
3존 퍼니스는 금속 및 세라믹 재료의 소결, 결정 성장, 재료 합성 등 다양한 응용 분야에 사용할 수 있는 다목적 제품입니다.
퍼니스 챔버 내에서 정밀한 온도 구배를 생성하는 기능은 시료의 여러 부분에 다양한 열처리가 필요한 복잡한 공정에 필수적입니다.
이 기능은 연구 및 생산의 품질을 향상시킬 뿐만 아니라 여러 처리가 동시에 이루어질 수 있도록 하여 효율성을 향상시킵니다.
4. 최적화 및 효율성
각 가변 리액턴스 변압기(VRT)를 위한 독립적인 실리콘 제어 정류기(SCR)와 같은 고급 제어 시스템은 퍼니스의 성능을 더욱 향상시킵니다.
이러한 시스템을 통해 각 구역의 열 출력을 미세 조정하여 온도 편차를 줄이고 전반적인 균일성을 개선할 수 있습니다.
참조에 제공된 예시에서는 이러한 변경을 구현한 후 1050°C에서 온도 확산이 10°C에서 3°C로 크게 개선되었음을 보여줍니다.
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