스퍼터링은 증착과 같은 기존의 진공 증착 방식에 비해 몇 가지 장점이 있습니다. 이러한 장점으로 인해 많은 최신 애플리케이션에서 선호되는 선택입니다.
기존 진공 증착에 비해 스퍼터링의 장점은 무엇인가요? 5가지 주요 이점
1. 증착 재료의 다양성
스퍼터링은 복잡한 합금과 화합물을 포함한 다양한 재료를 증착할 수 있습니다.
증착과 같은 오래된 방법으로는 항상 가능한 것은 아닙니다.
이러한 다목적성은 특정 재료 특성이나 조성이 필요한 애플리케이션에 매우 중요합니다.
2. 높은 접착력 및 필름 품질
스퍼터링 필름은 일반적으로 기판에 대한 높은 접착력과 더 나은 흡수 특성을 나타냅니다.
이는 증착된 종의 에너지가 더 높기 때문입니다(스퍼터링의 경우 1-100eV 대 증착의 경우 0.1-0.5eV).
에너지가 높을수록 필름 밀도가 향상되고 기판의 잔류 응력이 감소합니다.
3. 필름 특성 제어
스퍼터링은 조성, 스텝 커버리지 및 입자 구조와 같은 필름 특성을 탁월하게 제어할 수 있습니다.
이는 반도체 제조와 같이 정밀한 재료 특성이 요구되는 애플리케이션에서 특히 중요합니다.
4. 스퍼터 클리닝
필름 증착 전에 진공 상태에서 기판을 스퍼터링 세척하는 기능은 증착된 필름의 품질과 접착력을 향상시킵니다.
이 증착 전 세정 공정은 증착 기술에서는 효과적으로 수행되지 않습니다.
5. 디바이스 손상 방지
스퍼터링은 전자빔 증발에 의해 생성되는 X-선으로 인한 디바이스 손상을 방지합니다.
이는 반도체 제조와 같이 민감한 애플리케이션에서 중요한 이점입니다.
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