스퍼터링 머신은 다양한 기판에 재료의 박막을 증착하는 데 사용되는 특수 장치입니다. 이 과정에는 스퍼터링 타겟으로 알려진 소스 물질에서 에너지 입자에 의한 충격으로 원자가 방출되는 과정이 포함됩니다. 이렇게 방출된 원자는 이동하여 기판 위에 증착되어 특정 특성을 가진 박막을 형성합니다. 스퍼터링 기계는 다목적이며 반도체 제조 및 재료 과학을 비롯한 다양한 산업에서 사용할 수 있습니다.
스퍼터링의 작동 원리:
스퍼터링은 고체 소스에서 아다 원자(새로운 층을 형성할 준비가 된 원자)의 흐름을 생성하는 진공 사용 공정입니다. 소스 재료는 불활성 가스로 채워진 진공 챔버에 배치됩니다. 소스 물질이 음전하를 띠면 음극이 되고 자유 전자가 방출됩니다. 이 전자는 가스 원자와 충돌하여 이온화되어 플라즈마를 형성합니다. 그런 다음 이온화된 가스 원자는 음전하를 띤 타겟을 향해 가속하여 타겟 표면에서 원자를 튕겨냅니다. 이렇게 스퍼터링된 원자는 진공을 통과하여 기판 위에 증착되어 얇은 막을 형성합니다.스퍼터링 장비의 종류:
이온 빔 스퍼터링과 마그네트론 스퍼터링을 포함한 다양한 유형의 스퍼터링 기계가 있습니다. 이온 빔 스퍼터링은 이온 전자 빔을 타겟에 직접 집중시켜 기판 위에 재료를 스퍼터링하는 방식입니다. 마그네트론 스퍼터링은 자기장을 사용하여 가스의 이온화를 향상시키고 스퍼터링 속도를 높입니다.
애플리케이션 및 혁신:
스퍼터링 장비는 주사 전자 현미경을 위한 백금으로 생물학적 샘플 코팅, 반도체 산업에서 박막 증착, 화학 성분 분석을 위한 표면층 에칭 등 다양한 용도로 사용됩니다. 이 공정은 적응성이 뛰어나 반사율, 전기 전도도 등 다양한 특성을 가진 필름을 만들 수 있습니다. 스퍼터링 기술의 혁신은 1976년 이후 45,000건 이상의 미국 특허로 이어져 첨단 소재 및 장치 제조에서 그 중요성을 강조하고 있습니다.
장비 및 유지보수:
