스퍼터링과 증착의 주요 차이점은 재료 증착 방식에 있습니다. 스퍼터링은 에너지 이온을 사용하여 타겟과 충돌하여 원자가 분리되어 기판에 증착되는 반면 증착은 소스 물질을 기화 온도까지 가열하여 증기로 변한 다음 기판 위에 응축시키는 것입니다.
스퍼터링 공정:
물리적 기상 증착(PVD)으로 알려진 공정인 스퍼터링에서는 에너지화된 플라즈마 원자(일반적으로 불활성 특성으로 인해 아르곤)가 사용됩니다. 이 원자는 양전하를 띠고 있으며 음전하를 띠는 대상 물질을 향합니다. 이러한 이온의 충격으로 인해 대상 물질의 원자가 튕겨져(스퍼터링) 기판 위에 증착되어 얇은 필름을 형성합니다. 이 과정은 진공 상태에서 증착에 비해 낮은 온도에서 발생합니다. 스퍼터링은 복잡한 기판에 더 나은 코팅 커버리지를 제공하고 고순도 박막을 생산할 수 있다는 점에서 유리합니다. 또한 이 공정은 폐쇄 자기장의 이점을 활용하여 전자를 더 잘 가두어 효율성과 필름 품질을 향상시킵니다.증착 공정:
증발, 특히 열 증발은 원료 물질을 기화점을 초과하는 온도까지 가열하는 과정을 포함합니다. 이렇게 하면 재료가 증기로 변한 다음 기판에 응축되어 얇은 필름을 형성합니다. 이 방법은 저항성 열 증발 및 전자빔 증발과 같은 다양한 기술을 통해 달성할 수 있습니다. 높은 온도와 운동 에너지로 플라즈마 환경에서 작동하는 스퍼터링과 달리 증착은 일반적으로 낮은 운동 에너지를 포함하는 소스 재료의 온도에 의존하므로 기판 손상 위험이 줄어듭니다.
비교 및 적용:
