스퍼터링은 특정 가스를 사용하여 기판에 박막이나 코팅을 만드는 공정입니다.
스퍼터링용 공정 가스에 대해 알아야 할 5가지 핵심 사항
1. 가장 일반적인 공정 가스는 아르곤
아르곤은 일반적으로 스퍼터링에 사용되는 가스입니다.
2. 아르곤은 진공 챔버에 도입됩니다.
진공 챔버에서 아르곤은 이온화되어 플라즈마를 형성합니다.
3. 플라즈마 내의 이온이 표적 물질을 향해 가속됩니다.
이 이온은 표적 물질에서 원자 또는 분자를 전위시킵니다.
4. 전위된 입자가 증기 흐름을 형성합니다.
이 증기 흐름이 기판 위에 증착되어 박막 또는 코팅을 만듭니다.
5. 다양한 가스 선택
스퍼터링 공정의 특정 요구 사항에 따라 네온, 크립톤, 크세논, 산소 및 질소와 같은 다른 가스도 사용할 수 있습니다.
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