물리적 기상 증착(PVD)은 진공 증착 기술입니다.
진공 환경에서 고체 물질을 기화시키는 것입니다.
그런 다음 기화된 물질을 기판 위에 박막으로 증착합니다.
이 공정은 코팅 종의 원자, 이온 또는 분자를 기판 위에 물리적으로 증착합니다.
그 결과 고순도의 효율적인 필름이 생성됩니다.
PVD는 일반적으로 금속, 합금 및 세라믹의 박막을 증착하는 데 사용됩니다.
이러한 필름의 두께는 일반적으로 1~10µm입니다.
5가지 주요 단계 설명
1. 재료의 기화
증착할 재료는 물리적 수단을 통해 증기로 변환됩니다.
이는 일반적으로 고출력 전기 또는 레이저를 사용하여 수행됩니다.
이 단계는 기화된 재료의 순도와 조성을 결정하기 때문에 매우 중요합니다.
2. 증기 운송
기화된 물질은 저압 영역을 가로질러 이송됩니다.
기화 물질은 소스에서 기판으로 이동합니다.
이 단계에서는 재료가 오염을 최소화하면서 균일하게 증착되도록 합니다.
3. 기판의 응축
증기는 기판에서 응축을 거쳐 얇은 막을 형성합니다.
이 단계에서는 온도와 압력을 정밀하게 제어해야 합니다.
이를 통해 필름이 기판에 적절하게 형성되고 접착됩니다.
4. PVD 방법의 유형
PVD 방법은 세 가지 주요 유형으로 분류됩니다.
직접 증착 또는 반응성 증착에 사용할 수 있습니다.
반응성 증착은 증기/플라즈마 상에서 코팅 재료와 반응성 가스 사이의 화학 반응을 포함합니다.
가장 일반적인 PVD 방법은 스퍼터링과 열 증착입니다.
스퍼터링은 대상 물질 원자를 배출하고 기판으로 옮기는 과정을 포함합니다.
열 증발은 진공 상태에서 재료를 끓는점까지 가열하는 것입니다.
이렇게 하면 재료가 증발하여 기판에 증착됩니다.
5. PVD의 장점
PVD는 고온 내성을 가진 필름을 생산할 수 있다는 점에서 선호됩니다.
또한 우수한 절삭 저항성과 내식성을 제공합니다.
PVD는 환경 친화적인 공정으로 간주됩니다.
무공해 증착 방법을 사용합니다.
따라서 많은 응용 분야에서 PVD가 선호되는 방법입니다.
반도체 제조에서 특히 중요합니다.
이러한 응용 분야에서는 증착된 필름의 품질과 특성이 매우 중요합니다.
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