SEM용 스퍼터 코팅은 전도성을 개선하고 전기 충전 효과를 줄이며 이차 전자 방출을 향상시키기 위해 시료에 얇은 전도성 물질 층을 증착하는 것입니다. 이는 가스 환경(일반적으로 아르곤)에서 음극과 양극 사이의 글로우 방전이 음극 대상 물질(일반적으로 금 또는 백금)을 침식하는 스퍼터링이라는 공정을 통해 이루어집니다. 그런 다음 스퍼터링된 원자가 시료 표면에 균일하게 침착되어 주사 전자 현미경으로 분석할 수 있도록 준비합니다.
스퍼터링 프로세스:
스퍼터링 공정은 아르곤 가스로 채워진 챔버에서 음극(대상 물질 포함)과 양극 사이에 글로우 방전을 형성하는 것으로 시작됩니다. 아르곤 가스는 이온화되어 양전하를 띤 아르곤 이온을 생성합니다. 이 이온은 전기장에 의해 음극 쪽으로 가속되고, 충격이 가해지면 운동량 전달을 통해 음극 표면에서 원자를 제거합니다. 이러한 음극 물질의 침식을 스퍼터링이라고 합니다.스퍼터링된 원자의 증착:
스퍼터링된 원자는 모든 방향으로 이동하여 결국 음극 근처에 놓인 시료 표면에 침착됩니다. 이 증착은 일반적으로 균일하여 얇은 전도성 층을 형성합니다. 코팅의 균일성은 샘플 표면을 균일하게 덮어 전하 위험을 줄이고 이차 전자의 방출을 향상시키기 때문에 SEM 분석에 매우 중요합니다.
SEM의 이점
스퍼터 코팅으로 제공되는 전도성 층은 SEM에서 전자 빔으로 인한 전하 축적을 소멸시키는 데 도움이 되며, 이는 비전도성 시료에 특히 중요합니다. 또한 이차 전자 수율을 개선하여 이미지 대비와 해상도를 향상시킵니다. 또한 코팅은 표면에서 열을 전도하여 열 손상으로부터 샘플을 보호할 수 있습니다.기술 향상:
