지식 진공 코팅기란 무엇인가요? 9가지 필수 구성 요소 설명
작성자 아바타

기술팀 · Kintek Solution

업데이트됨 2 months ago

진공 코팅기란 무엇인가요? 9가지 필수 구성 요소 설명

박막 증착기라고도 하는 진공 코팅기는 기판 표면에 얇고 균일한 코팅층을 입히는 데 사용되는 장치입니다.

이 공정은 대기압 이하의 압력 환경을 조성하기 위해 진공 챔버에서 수행됩니다.

진공 코팅 공정에는 물리적 또는 화학적 기상 증착 기술이 사용됩니다.

물리적 기상 증착(PVD)은 코팅 재료가 응축 상에서 기체 상으로, 다시 응축 상으로 상 변화를 거쳐 박막을 형성하는 방법입니다.

가장 일반적인 PVD 공정에는 스퍼터 증착과 진공 증발이 포함됩니다.

진공 코팅 기계의 9가지 필수 구성 요소

진공 코팅기란 무엇인가요? 9가지 필수 구성 요소 설명

1. 진공 챔버 및 코팅 장비

챔버는 일반적으로 스테인리스 스틸로 만들어지며 진공 환경을 견딜 수 있도록 설계됩니다.

챔버에는 플랜지 인터페이스가 장착되어 있으며 코팅 공정이 이루어지는 곳입니다.

2. 진공 획득 부품

이 부품은 챔버 내부의 진공을 생성하고 유지하는 역할을 담당합니다.

원하는 진공 수준을 달성하기 위해 기계식 펌프, 루츠 펌프, 분자 펌프 시스템 등 다양한 펌프가 사용됩니다.

3. 진공 측정 파트

이 파트에는 진공 챔버 내부의 압력을 측정하는 데 사용되는 다양한 유형의 진공 게이지가 포함됩니다.

열전대, 이온화 측정기, 피라니 측정기 등 다양한 원리와 요구 사항에 따라 다양한 진공 게이지를 사용해야 합니다.

4. 전원 공급 부품

전원 공급 부품은 코팅 공정에 필요한 전기 에너지를 제공합니다.

진공 코팅기에는 일반적으로 DC, RF, 펄스 및 IF 전원 공급 장치와 같은 대상 전원 공급 장치가 사용됩니다.

5. 공정 가스 입력 시스템

아르곤, 크립톤, 질소, 아세틸렌, 메탄, 수소 및 산소와 같은 공정 가스는 가스 실린더, 감압 밸브, 유량계 및 솔레노이드 밸브가 포함된 시스템을 통해 진공 챔버에 공급됩니다.

이 시스템을 통해 코팅 공정 중 가스 흐름을 정밀하게 제어할 수 있습니다.

6. 기계식 전송 부품

균일한 코팅 두께를 보장하기 위해서는 코팅 공정 중에 기판과 코팅 재료가 여러 번 회전해야 합니다.

이 부분에는 작업물 테이블, 베어링 테이블 및 작업물 자체를 회전시키는 메커니즘이 포함됩니다.

7. 가열 및 온도 측정

가열 요소는 원하는 온도에 도달하기 위해 기판 또는 코팅 재료를 가열하는 데 사용됩니다.

열전대는 코팅 공정 중 온도를 측정하고 제어하는 데 사용됩니다.

8. 이온 증발 및 스퍼터링 소스

이러한 소스는 증발 또는 스퍼터링 형태로 코팅 재료를 생성하는 데 사용됩니다.

멀티 아크 도금은 일반적으로 원형 또는 직사각형 타겟을 사용하는 반면 마그네트론 스퍼터링은 직사각형 또는 원통형 스퍼터링 캐소드를 사용합니다.

9. 수냉 시스템

부품의 과열을 방지하기 위해 진공 코팅 장비에 수냉 시스템이 통합되어 있습니다.

이 시스템에는 일반적으로 냉수탑, 얼음물 기계, 워터 펌프가 포함됩니다.

진공 코팅기는 식기, 가정용 가구, 건축 자재, 전자 제품, 포장 등 다양한 산업 분야에서 널리 사용됩니다.

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