박막 증착기라고도 하는 진공 코팅기는 기판 표면에 얇고 균일한 코팅층을 적용하는 데 사용되는 장치입니다. 이 공정은 대기압 이하의 압력 환경을 조성하기 위해 진공 챔버에서 수행됩니다.
진공 코팅 공정에는 물리적 또는 화학적 기상 증착 기술이 사용됩니다. 물리적 기상 증착(PVD)은 코팅 재료가 응축 상에서 기체 상으로, 다시 응축 상으로 상 변화를 거쳐 박막을 형성하는 방법입니다. 가장 일반적인 PVD 공정에는 스퍼터 증착과 진공 증발이 포함됩니다.
진공 코팅기는 몇 가지 필수 구성 요소로 이루어져 있습니다:
1. 진공 챔버 및 코팅 장비: 챔버는 일반적으로 스테인리스 스틸로 만들어지며 진공 환경을 견딜 수 있도록 설계됩니다. 이 챔버에는 플랜지 인터페이스가 장착되어 있으며 코팅 공정이 이루어지는 곳입니다.
2. 진공 획득 부품: 이 부품은 챔버 내부의 진공을 생성하고 유지하는 역할을 합니다. 원하는 진공 수준을 달성하기 위해 기계식 펌프, 루츠 펌프, 분자 펌프 시스템 등 다양한 펌프가 사용됩니다.
3. 진공 측정 부품: 이 부분에는 진공 챔버 내부의 압력을 측정하는 데 사용되는 다양한 유형의 진공 게이지가 포함됩니다. 열전대, 이온화 측정기, 피라니 측정기와 같은 다양한 진공 게이지의 사용은 서로 다른 원리와 요구 사항에 따라 결정됩니다.
4. 전원 공급 부품: 전원 공급 부품은 코팅 공정에 필요한 전기 에너지를 제공합니다. 진공 코팅기에는 일반적으로 DC, RF, 펄스 및 IF 전원 공급 장치와 같은 타겟 전원 공급 장치가 사용됩니다.
5. 공정 가스 입력 시스템: 아르곤, 크립톤, 질소, 아세틸렌, 메탄, 수소, 산소 등의 공정 가스는 가스 실린더, 감압 밸브, 유량계, 솔레노이드 밸브가 포함된 시스템을 통해 진공 챔버에 공급됩니다. 이 시스템을 통해 코팅 공정 중 가스 흐름을 정밀하게 제어할 수 있습니다.
6. 기계식 전송 부품: 균일한 코팅 두께를 보장하기 위해 코팅 공정 중에 기판과 코팅 재료가 여러 번 회전해야 합니다. 이 부분에는 워크피스 테이블, 베어링 테이블, 워크피스 자체의 회전을 위한 메커니즘이 포함됩니다.
7. 가열 및 온도 측정: 가열 요소는 원하는 온도를 달성하기 위해 기판 또는 코팅 재료를 가열하는 데 사용됩니다. 열전대는 코팅 공정 중 온도를 측정하고 제어하는 데 사용됩니다.
8. 이온 증발 및 스퍼터링 소스: 이러한 소스는 증발 또는 스퍼터링된 형태로 코팅 재료를 생성하는 데 사용됩니다. 멀티 아크 도금은 일반적으로 원형 또는 직사각형 타겟을 사용하는 반면 마그네트론 스퍼터링은 직사각형 또는 원통형 스퍼터링 캐소드를 사용합니다.
9. 수냉 시스템: 부품의 과열을 방지하기 위해 진공 코팅 장비에 수냉 시스템이 통합되어 있습니다. 이 시스템에는 일반적으로 냉수탑, 얼음물 기계 및 워터 펌프가 포함됩니다.
진공 코팅기는 식기, 가정용 가구, 건축 자재, 전자 제품, 포장 등 다양한 산업 분야에서 널리 사용됩니다. 진공 코팅기는 제품의 성능과 외관을 개선하여 기능적, 미적 이점을 제공합니다. 진공 코팅기는 높은 처리량, 비용 효율성, 무용제 공정의 효율성 및 신뢰성을 제공합니다. 또한 다양한 크기와 형태의 기판에 맞게 커스터마이징할 수 있습니다.
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