증착 챔버는 증착된 필름의 순도와 품질을 보장하기 위해 주로 고진공이 필요합니다.
이는 기화된 원자의 평균 자유 경로를 증가시키고 오염 수준을 줄이며 기체 및 증기상 구성에 대한 제어를 강화하기 위해 가스 압력을 최소화함으로써 달성할 수 있습니다.
증착 챔버가 고진공인 이유는 무엇인가요? 4가지 주요 이유 설명
1. 평균 자유 경로 증가
고진공 환경에서는 가스 압력이 크게 감소합니다.
이는 기화된 원자의 평균 자유 경로를 증가시킵니다.
이러한 원자는 다른 가스 분자와 충돌하지 않고 더 먼 거리를 이동합니다.
이는 증기에서 그을음의 핵 생성을 방지하기 때문에 매우 중요합니다.
원자가 흩어지지 않고 기판에 도달하도록 보장합니다.
이는 보다 균일하고 고품질의 증착으로 이어집니다.
2. 오염 수준 감소
고진공 조건은 챔버 내 배경 가스의 존재를 크게 줄입니다.
이러한 가스는 잠재적인 오염원입니다.
이는 산소와 습기에 민감한 애플리케이션에 특히 중요합니다.
예를 들어 유기 발광 장치와 유기 태양전지가 이에 해당합니다.
이러한 가스는 미량만 있어도 활성 기능성 종을 소멸시킬 수 있습니다.
10^-6~10^-9 토르 범위의 진공을 유지하면 증발된 필름의 순도가 크게 향상됩니다.
3. 기체 및 증기상 구성에 대한 제어 강화
고진공 환경을 통해 기술자는 기체 및 증기상 구성을 정밀하게 제어할 수 있습니다.
이러한 제어는 특수 박막을 만드는 데 필수적입니다.
예를 들어 광학 코팅에 사용되는 박막이 이에 해당합니다.
필름의 화학 성분은 정확해야 합니다.
4. 더 나은 접착력을 위한 깨끗한 표면
고진공은 또한 챔버 내부의 표면을 깨끗하게 유지합니다.
이러한 청결은 매우 중요합니다.
증발된 원자가 기질에 더 잘 부착될 수 있기 때문입니다.
안정적이고 균일한 층 형성.
고진공이 없으면 증발된 원자가 잘 달라붙지 않을 수 있습니다.
이는 불안정하거나 고르지 않은 증착으로 이어질 수 있습니다.
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