특히 고르지 않은 표면에서 더 나은 스텝 커버리지를 달성하기 위해서는 일반적으로 스퍼터링이 증착보다 우수한 것으로 간주됩니다.
스퍼터링이 스텝 커버리지에 더 나은 5가지 주요 이유
1. 증착된 종의 더 높은 에너지
스퍼터링에서 증착된 종의 에너지는 1-100eV 범위입니다. 이는 일반적으로 0.1~0.5eV인 증착보다 훨씬 높습니다. 에너지가 높을수록 원자가 기판의 지형에 더 잘 부합할 수 있어 고르지 않은 표면의 스텝 커버리지가 향상됩니다.
2. 균일성 및 입자 크기
스퍼터링은 증착에 비해 입자 크기가 더 작은 더 균일한 필름을 생산합니다. 이러한 균질성은 복잡한 형상에 균일한 커버리지를 달성하는 데 매우 중요하며, 스텝과 가장자리를 포함하여 표면 전체에 필름이 고르게 분포되도록 보장합니다.
3. 더 강력한 접착력
스퍼터링은 필름이 기판에 더 잘 접착되도록 합니다. 이러한 강력한 접착력은 특히 접착력이 약하면 벗겨지거나 박리될 수 있는 종횡비가 높거나 모양이 복잡한 표면에서 필름의 무결성을 유지하는 데 유용합니다.
4. 더 높은 흡수율
스퍼터링 공정은 흡수율이 더 높은 경향이 있습니다. 이는 증착된 재료가 기판에 완전히 통합되도록 하여 스텝 커버리지와 필름 품질을 더욱 향상시키는 데 유리할 수 있습니다.
5. 복잡성 및 속도
스퍼터링은 증착보다 더 복잡하고 느리지만, 이러한 특성은 증착된 필름의 우수한 품질과 균일성으로 인해 상쇄되는 경우가 많습니다. 스퍼터링의 느린 증착 속도는 실제로 필름의 두께와 균일성을 보다 정밀하게 제어할 수 있기 때문에 더 나은 스텝 커버리지를 달성하는 데 유리할 수 있습니다.
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