열 증착은 금속과 비금속의 박막을 증착하는 데 사용되는 다목적 물리적 기상 증착 기술입니다.
이 기술은 간편하고 효과적이기 때문에 다양한 산업 분야에서 널리 적용됩니다.
열 증착의 주요 용도는 다음과 같습니다:
1. 전기 접점 및 박막 장치
열 증착은 일반적으로 전기 접점에 은이나 알루미늄과 같은 단일 금속을 증착하는 데 사용됩니다.
또한 금속 접촉층을 증착하여 OLED, 태양전지, 박막 트랜지스터와 같은 박막 소자를 제조하는 데도 매우 중요합니다.
또한 웨이퍼 본딩을 위해 두꺼운 인듐 층을 증착할 수도 있습니다.
2. 광학 및 안경 렌즈
이 기술은 광학 및 렌즈 코팅에 광범위하게 사용됩니다.
반사 방지 코팅, 하드 코팅, 적외선 또는 자외선 차단 등 렌즈의 특성을 향상시키기 위해 여러 층의 재료가 증착됩니다.
대형 진공 챔버는 한 번에 수백 개의 렌즈를 처리할 수 있어 모든 제품에 균일한 박막을 일괄 처리할 수 있습니다.
3. 소비자 포장
대형 코팅기에서는 열 증발 방식을 사용하여 포장 포일용 웹 코팅을 만듭니다.
알루미늄과 같은 소재의 얇은 필름을 플라스틱 호일에 적용하여 공기와 습기에 대한 장벽을 만들어 소비재의 신선도와 유통 기한을 연장합니다.
4. 일반 박막 증착
이 기술은 알루미늄, 은, 니켈, 크롬, 마그네슘을 포함한 다양한 재료를 증착하는 데 적용할 수 있습니다.
이 공정에는 고진공 환경에서 재료를 증발점까지 가열하여 기화된 분자가 기판으로 이동하여 핵을 형성하고 박막 코팅을 형성하는 과정이 포함됩니다.
열 증발 과정
열 증발의 과정은 간단합니다. 일반적으로 줄 가열 또는 전자빔 증발을 사용하여 고진공 환경에서 재료를 증발점까지 가열합니다.
그런 다음 기화된 물질은 기판으로 이동하여 응축되어 얇은 필름을 형성합니다.
이 방법은 실험실과 산업 환경 모두에서 박막 증착에 유용하며 박막 성장과 핵 형성을 위해 반복할 수 있습니다.
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