플라즈마 코팅은 기판의 특성을 향상하거나 수정하기 위해 기판에 얇은 층의 재료를 적용하는 데 사용되는 공정입니다. 이 기술은 친수성, 소수성, 반사 방지, 절연성, 전도성, 내마모성 등 다양한 특성을 가진 코팅을 만들 수 있습니다. 물리적 기상 증착(PVD)과 플라즈마 강화 화학 기상 증착(PECVD) 중 선택은 기판의 특성과 원하는 코팅 유형에 따라 달라집니다.
플라즈마 강화 화학 기상 증착(PECVD):
PECVD는 플라즈마를 사용하여 박막 증착에 필요한 화학 반응을 강화하는 방법입니다. 이 방법은 다목적이며 처리 매체를 조정하여 특정 특성을 가진 코팅을 생성할 수 있습니다. 예를 들어, 환경 친화적이며 다이아몬드와 같은 단단한 표면을 제공하는 다이아몬드 유사 탄소(DLC) 코팅을 만들 수 있습니다. 이 공정에는 탄화수소(수소와 탄소의 조합)가 플라즈마에 도입되면 해리되었다가 표면에서 재결합하여 단단한 층을 형성하는 탄화수소를 사용합니다.이온 도금:
이온 도금은 티타늄, 알루미늄, 구리, 금, 팔라듐과 같은 금속을 증착하는 데 사용되는 플라즈마 기반 기술입니다. 코팅은 일반적으로 0.008~0.025mm의 얇은 두께로 이루어지며, 향상된 접착력, 표면 마감, 증착 전 기판의 현장 세척 등의 이점을 제공합니다. 그러나 처리 매개변수를 정밀하게 제어해야 하며 잠재적인 오염 문제가 발생할 수 있습니다. X-선 튜브, 터빈 블레이드, 원자로의 부식 방지 등 다양한 분야에 적용됩니다.
이온 주입 및 플라즈마 증착:
