물리적 기상 증착(PVD)은 재료에 박막을 만드는 데 사용되는 방법입니다.
이 과정에는 고체 또는 액체 상태의 재료를 증기로 바꾸는 과정이 포함됩니다.
그런 다음 증기가 기판에 응축되어 박막을 형성합니다.
PVD는 일반적으로 순수 금속, 금속 합금 및 세라믹 코팅을 만드는 데 사용됩니다.
이러한 코팅의 두께는 일반적으로 1~10마이크로미터입니다.
물리적 기상 증착 공정이란 무엇인가요? 5가지 핵심 사항 설명
1. 응축 단계에서 증기 단계로의 전환
PVD는 재료가 응축된 상에서 증기 상으로 전환되는 과정을 포함합니다.
이 전이는 기판에 박막을 증착하는 데 매우 중요합니다.
2. 다양한 박막 증착 기술
PVD를 달성하기 위한 몇 가지 기술이 있습니다.
이 모든 기술은 소스에서 원자를 물리적으로 제거한다는 공통점을 공유합니다.
3. 스퍼터 증착
널리 사용되는 기술 중 하나는 스퍼터 증착입니다.
이 방법에서는 운동량 교환을 통해 고체 또는 액체 소스에서 원자가 방출됩니다.
4. 챔버의 제어된 분위기
PVD는 일반적으로 감압 상태에서 대기가 제어된 챔버에서 수행됩니다.
이러한 환경은 공정이 효과적으로 진행되기 위해 필수적입니다.
5. PVD 공정의 단계
스퍼터링을 통한 PVD 공정에는 세 가지 주요 단계가 포함됩니다:
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증착할 재료를 증기로 변환합니다.
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증기를 소스에서 기판으로 저압 영역을 가로질러 운반합니다.
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기판에서 증기를 응축하여 박막을 형성합니다.
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