스퍼터링 타겟은 반도체 제조 또는 코팅 애플리케이션과 같은 박막 증착 공정에 사용되는 재료입니다.스퍼터링 타겟의 아크는 스퍼터링 공정 중에 타겟 재료와 기판 사이에 전기 방전 또는 스파크가 형성되는 것을 말합니다.이 현상은 증착된 필름의 품질에 부정적인 영향을 미치고 타겟에 손상을 일으키며 공정의 효율성을 떨어뜨릴 수 있습니다.아크 문제는 1970년대에 표준 DC 장치 대신 저주파 AC 전원 공급 장치를 사용할 것을 제안함으로써 해결되었습니다.이 솔루션은 증착되는 절연막의 유전체 특성에 따라 주파수를 조정하여 아크를 완화하는 데 도움이 되었습니다.
핵심 포인트 설명:
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스퍼터링 타겟에서 아킹의 정의:
- 아크는 증착 공정 중에 스퍼터링 타겟과 기판 사이에 전기 방전 또는 스파크가 형성될 때 발생합니다.
- 이 방전은 타겟 표면의 절연층이나 오염 물질에 전하가 축적되어 전기장의 국부적인 파괴로 이어집니다.
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아크의 영향:
- 필름 품질:아킹은 증착된 필름에 핀홀, 고르지 않은 두께 또는 오염과 같은 결함을 일으킬 수 있습니다.
- 대상 손상:반복적인 아킹은 대상 표면을 침식하여 수명을 단축하고 운영 비용을 증가시킬 수 있습니다.
- 공정 효율성:아크는 스퍼터링 공정의 균일성을 방해하여 비효율성과 일관되지 않은 결과를 초래합니다.
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과거 솔루션:저주파 AC 전원 공급 장치:
- 1970년대에 연구자들은 아크 문제를 해결하기 위해 저주파 AC 전원 공급 장치를 사용할 것을 제안했습니다.
- AC 공급은 대상에 가해지는 전압의 극성을 번갈아 가며 절연 층에 전하가 쌓이는 것을 방지합니다.
- AC 공급의 주파수(400~60,000Hz 범위)는 증착되는 절연막의 유전율에 맞게 조정됩니다.
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AC 전원이 아크를 완화하는 방법:
- 전하 중화:극성을 번갈아 가며 사용하면 전하가 대상 표면에 축적되지 않아 아크 발생 가능성을 줄일 수 있습니다.
- 필름 균일성 향상:아크 발생을 최소화하여 보다 균일하고 결함 없는 필름을 얻을 수 있습니다.
- 향상된 목표 수명:아크가 감소하면 대상의 손상이 최소화되어 사용 가능한 수명이 연장됩니다.
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장비 및 소모품 구매자를 위한 고려 사항:
- 전원 공급 장치 호환성:스퍼터링 장비를 구매할 때는 전원 공급 장치가 주파수 설정이 조정 가능한 AC 작동을 지원하는지 확인하십시오.
- 대상 재료 선택:오염 수준이 낮고 순도가 높은 타겟을 선택하여 아크 발생 위험을 더욱 줄이세요.
- 공정 최적화:공급업체와 협력하여 특정 유전막에 대한 최적의 주파수 범위를 결정하여 성능을 극대화하고 아크를 최소화합니다.
장비 및 소모품 구매자는 스퍼터링 타겟의 아크 발생 원인과 해결책을 이해함으로써 공정 효율성, 필름 품질 및 전반적인 장비 수명을 개선하기 위한 정보에 입각한 결정을 내릴 수 있습니다.
요약 표:
| 측면 | 세부 정보 |
|---|---|
| 아킹의 정의 | 스퍼터링 중 타겟과 기판 사이의 전기 방전. |
| 필름 품질에 미치는 영향 | 핀홀, 고르지 않은 두께, 오염과 같은 결함을 유발합니다. |
| 대상에 미치는 영향 | 대상 표면을 침식하여 수명을 단축하고 비용을 증가시킵니다. |
| 효율성에 미치는 영향 | 프로세스 균일성을 방해하여 비효율성을 초래합니다. |
| 솔루션 | 저주파 AC 전원 공급 장치(400-60,000Hz)는 전하 축적을 중화합니다. |
| 주요 고려 사항 | 전원 공급 장치 호환성, 타겟 재료 순도, 공정 최적화. |
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