직류 스퍼터링이라고도 하는 DC 스퍼터링은 박막 물리 기상 증착(PVD) 코팅 기법입니다.
이 기술에서는 코팅으로 사용될 대상 물질을 이온화된 가스 분자로 충격을 가합니다.
이 충격으로 인해 원자가 플라즈마로 "스퍼터링"됩니다.
이렇게 기화된 원자는 응축되어 코팅할 기판에 얇은 막으로 증착됩니다.
5가지 핵심 포인트 설명
1. 손쉬운 제어와 저렴한 비용
DC 스퍼터링의 주요 장점 중 하나는 제어가 용이하고 코팅용 금속 증착을 위한 저렴한 옵션이라는 점입니다.
2. 일반적인 응용 분야
일반적으로 PVD 금속 증착 및 전기 전도성 타겟 코팅 재료에 사용됩니다.
DC 스퍼터링은 분자 수준의 마이크로칩 회로를 만들기 위해 반도체 산업에서 광범위하게 사용됩니다.
또한 보석, 시계 및 기타 장식 마감재의 금 스퍼터 코팅에도 사용됩니다.
또한 유리 및 광학 부품의 무반사 코팅에도 사용됩니다.
3. 기술 사양
DC 스퍼터링은 직류(DC) 전원을 기반으로 합니다.
챔버 압력은 일반적으로 1~100mTorr입니다.
양전하를 띤 이온은 대상 물질을 향해 가속됩니다.
방출된 원자는 기판에 증착됩니다.
4. 적합한 재료
이 기술은 높은 증착률로 인해 철(Fe), 구리(Cu), 니켈(Ni)과 같은 순수 금속 스퍼터링 재료에 일반적으로 사용됩니다.
5. 유전체 재료의 도전 과제
그러나 유전체 재료의 DC 스퍼터링으로 인해 진공 챔버의 벽이 비전도성 재료로 코팅될 수 있다는 점에 유의해야 합니다.
이는 전하를 가둘 수 있습니다.
이로 인해 증착 공정 중에 작고 거시적인 아크가 나타날 수 있습니다.
이로 인해 대상 물질에서 원자가 고르지 않게 제거되고 전원 공급 장치가 손상될 수 있습니다.
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