직류 스퍼터링이라고도 하는 DC 스퍼터링은 박막 물리 기상 증착(PVD) 코팅 기술입니다. 이 기술에서는 코팅으로 사용될 대상 물질에 이온화된 가스 분자를 분사하여 원자가 플라즈마로 "스퍼터링"되도록 합니다. 이렇게 기화된 원자는 응축되어 코팅할 기판에 얇은 필름으로 증착됩니다.
DC 스퍼터링의 주요 장점 중 하나는 제어가 쉽고 코팅용 금속 증착을 위한 저비용 옵션이라는 점입니다. 일반적으로 PVD 금속 증착 및 전기 전도성 타겟 코팅 재료에 사용됩니다. DC 스퍼터링은 분자 수준의 마이크로칩 회로를 만들기 위해 반도체 산업에서 광범위하게 사용됩니다. 또한 보석, 시계 및 기타 장식 마감재의 금 스퍼터 코팅과 유리 및 광학 부품의 비반사 코팅에도 사용됩니다. 또한 금속화된 포장 플라스틱에도 사용됩니다.
DC 스퍼터링은 직류(DC) 전원을 기반으로 하며 챔버 압력은 일반적으로 1~100mTorr 사이입니다. 양전하를 띤 이온은 대상 물질을 향해 가속되고 방출된 원자는 기판에 증착됩니다. 이 기술은 증착률이 높기 때문에 철(Fe), 구리(Cu), 니켈(Ni)과 같은 순수 금속 스퍼터링 재료에 일반적으로 사용됩니다. DC 스퍼터링은 제어가 쉽고 운영 비용이 저렴하여 대형 기판을 처리하는 데 적합합니다.
그러나 유전체 재료의 DC 스퍼터링으로 인해 진공 챔버의 벽이 비전도성 재료로 코팅되어 전하를 가둘 수 있다는 점에 유의해야 합니다. 이로 인해 증착 공정 중에 작고 큰 아크가 발생하여 대상 재료에서 원자가 고르지 않게 제거되고 전원 공급 장치가 손상될 수 있습니다.
전반적으로 DC 스퍼터링은 다양한 산업에서 박막 증착을 위해 널리 사용되는 비용 효율적인 기술입니다.
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