재료를 기화시키는 방법에는 열 증발과 전자빔 증발이라는 두 가지 주요 방법이 있습니다.
고려해야 할 5가지 핵심 사항
1. 가열 방법
열 증발은 전류를 사용하여 도가니를 가열합니다.
전자빔 증발은 고에너지 전자 빔을 사용하여 재료를 직접 가열합니다.
2. 적합성
열 증발은 금속 및 비금속과 같이 융점이 낮은 재료에 더 적합합니다.
전자빔 증발은 내화성 금속을 포함한 고온 재료를 처리할 수 있습니다.
3. 증착 속도 및 순도
전자빔 증착은 일반적으로 증착률이 더 높습니다.
전자빔 증착은 불순물이 유입될 수 있는 도가니 가열을 피할 수 있기 때문에 순도가 더 높은 필름을 생산할 수 있습니다.
4. 장비 및 확장성
전자빔 증착에는 더 정교하고 값비싼 장비가 필요합니다.
열 증착은 많은 응용 분야에서 더 간단하고 비용 효율적입니다.
5. 특정 요구 사항
열 증발과 전자빔 증발 중 선택은 증발할 재료의 특정 요구 사항, 원하는 순도 및 증착 속도, 사용 가능한 장비의 예산과 복잡성에 따라 달라집니다.
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