열 증발 시스템은 다양한 산업 분야에서 널리 사용되고 있지만, 상당한 단점이 있습니다.
열 증발 시스템의 주요 단점에 대한 3가지 핵심 사항
1. 높은 불순물 수준
열 증발 시스템은 종종 높은 불순물 수준을 초래합니다.
이는 주로 진공 챔버에서 원재료를 매우 높은 온도로 가열하는 공정이 포함되기 때문입니다.
이 가열 과정에서 소스 재료의 불순물이나 오염 물질도 증발하여 증착된 필름의 일부가 될 수 있습니다.
이로 인해 필름의 품질이 떨어질 수 있으며, 이는 고순도가 필요한 애플리케이션에 문제가 될 수 있습니다.
2. 저밀도 필름
열 증발로 생산된 필름은 밀도가 낮은 경우가 많습니다.
즉, 기판에 잘 부착되지 않을 수 있으며 다공성일 수 있습니다.
다공성은 필름의 기계적 및 전기적 특성에 영향을 미칠 수 있습니다.
또한 기공이 불순물을 가두거나 불순물이 필름을 통해 이동할 수 있기 때문에 밀도가 낮으면 불순물 수준이 높아집니다.
3. 이온 어시스트를 통한 완화
열 증발은 본질적으로 이러한 단점을 가진 필름을 생성하지만 이온 보조 소스를 사용하면 상황을 개선하는 데 도움이 될 수 있습니다.
이온 보조는 증착 필름에 이온을 분사하여 밀도를 높이고 필름의 다공성을 줄일 수 있습니다.
이 공정은 불순물을 제거하거나 감소시켜 필름의 전반적인 품질을 개선하는 데도 도움이 될 수 있습니다.
그러나 이온 보조 소스를 추가하면 시스템의 복잡성과 비용이 증가하므로 모든 애플리케이션에 적합하지 않을 수 있습니다.
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