스퍼터링은 고에너지 입자, 일반적으로 이온에 의한 충격으로 원자가 고체 대상 물질에서 방출되는 물리적 기상 증착(PVD) 공정입니다. 이 공정은 기판에 박막을 증착하는 데 사용되며, 다양한 산업에서 코팅 및 재료 개질을 위해 중요한 기술로 사용됩니다.
스퍼터링 공정의 메커니즘:
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설정 및 초기화:
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공정은 진공 챔버에서 제어된 가스(보통 아르곤)가 도입되는 곳에서 시작됩니다. 증착할 원자의 원천인 표적 물질은 음전하를 띠고 음극 역할을 합니다. 이 설정은 플라즈마 환경을 만드는 데 필요합니다.플라즈마 생성:
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음극에 전기적으로 전기가 통전되어 자유 전자가 방출됩니다. 이 전자는 아르곤 가스 원자와 충돌하여 아르곤 이온과 더 많은 자유 전자로 이온화됩니다. 이 이온화 과정은 하전 입자의 혼합물인 플라즈마를 유지합니다.
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이온 폭격:
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양전하를 띤 아르곤 이온은 전기장에 의해 음전하를 띤 타겟(음극)을 향해 가속됩니다. 이 이온이 표적 표면에 부딪히면 운동 에너지를 표적 원자에 전달합니다.원자 방출:
- 이온이 전달한 에너지가 충분하면 표적 원자의 결합 에너지를 극복하여 표면에서 원자가 방출됩니다. 이 방출은 대상 물질 내에서 운동량 전달과 그에 따른 충돌로 인해 발생합니다.기판 위에 증착:
- 방출된 원자는 직선으로 이동하여 방출된 입자의 경로에 있는 가까운 기판에 증착됩니다. 그 결과 기판 위에 대상 물질의 박막이 형성됩니다.
- 스퍼터링에 영향을 미치는 요인:입사 이온의 에너지:
에너지가 높은 이온은 대상 물질에 더 깊숙이 침투하여 원자 방출 가능성을 높일 수 있습니다.입사 이온 및 표적 원자의 질량:
이온과 표적 원자의 질량은 운동량 전달 효율에 영향을 미칩니다.
