MPCVD

915MHz MPCVD 다이아몬드 장비 마이크로파 플라즈마 화학 기상 증착 시스템 반응기

Q: MPCVD란 무엇입니까?

MPCVD는 Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition의 약자로 표면에 박막을 증착하는 공정입니다. 진공 챔버, 마이크로파 발생기 및 가스 전달 시스템을 사용하여 반응 화학 물질과 필요한 촉매로 구성된 플라즈마를 생성합니다. MPCVD는 다이아몬드 시드 기판에서 새로운 다이아몬드를 성장시키기 위해 메탄과 수소를 사용하여 다이아몬드 층을 증착하기 위해 ANFF 네트워크에서 많이 사용됩니다. 저비용, 고품질의 대형 다이아몬드를 생산할 수 있는 유망한 기술이며 반도체 및 다이아몬드 절삭 산업에서 광범위하게 사용됩니다.

Q: MPcvd 머신이란 무엇입니까?

MPCVD(Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition) 기계는 고품질 다이아몬드 필름을 성장시키는 데 사용되는 실험실 장비입니다. 탄소 함유 가스와 마이크로파 플라즈마를 사용하여 다이아몬드 기판 위에 플라즈마 볼을 생성하여 특정 온도로 가열합니다. 플라즈마 볼이 와벽과 접촉하지 않아 다이아몬드 성장 과정에 불순물이 없고 다이아몬드의 품질이 향상됩니다. MPCVD 시스템은 진공 챔버, 마이크로파 발생기 및 챔버로의 가스 흐름을 제어하는 가스 전달 시스템으로 구성됩니다.

Q: MPcvd의 장점은 무엇입니까?

MPCVD는 더 높은 순도, 더 적은 에너지 소비 및 더 큰 다이아몬드를 생산할 수 있는 능력과 같은 다른 다이아몬드 생산 방법에 비해 몇 가지 장점이 있습니다.

Q: CVD 다이아몬드는 진짜입니까 아니면 가짜입니까?

CVD 다이아몬드는 가짜가 아닌 진짜 다이아몬드입니다. 그들은 화학 기상 증착(CVD)이라는 공정을 통해 실험실에서 성장합니다. 지표면 아래에서 채굴되는 천연 다이아몬드와 달리 CVD 다이아몬드는 실험실에서 첨단 기술을 사용하여 만들어집니다. 이 다이아몬드는 100% 탄소이며 유형 IIa 다이아몬드로 알려진 가장 순수한 형태의 다이아몬드입니다. 그들은 천연 다이아몬드와 동일한 광학적, 열적, 물리적 및 화학적 특성을 가지고 있습니다. 유일한 차이점은 CVD 다이아몬드는 실험실에서 생성되며 지구에서 채굴되지 않는다는 것입니다.

품목 번호 : MP-CVD-101

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소개

MPCVD 다이아몬드 장비는 마이크로파 플라즈마 화학 기상 증착(MPCVD)을 활용하여 다이아몬드를 합성하는 혁신적인 기술입니다. 이 고급 방법은 기존 기술에 비해 더 빠른 결정 성장, 더 높은 생산 능력 및 향상된 다이아몬드 품질을 가능하게 합니다.

MPCVD 다이아몬드 장비는 마이크로파 출력 및 반응 온도를 정밀하게 제어하여 다른 CVD 방법에서 발생하는 문제를 제거합니다. 반응 챔버 설계 및 공정 매개변수를 최적화하여 고품질의 대형 단결정 다이아몬드를 생산하는 데 중요한 안정적인 플라즈마 방전을 달성합니다.

MPCVD 다이아몬드 장비는 흰색, 노란색, 분홍색, 파란색을 포함한 다양한 색상의 다이아몬드를 만드는 데에도 사용할 수 있습니다. 또한 특정 시장 수요를 충족하기 위해 맞춤형 생산을 제공합니다.

응용

MPCVD 다이아몬드 장비는 다이아몬드의 독특한 특성(경도, 강성, 높은 열전도율, 낮은 열팽창, 방사선 내성, 화학적 불활성 등)으로 인해 다양한 산업에서 널리 사용됩니다. MPCVD 다이아몬드 장비의 주요 응용 분야는 다음과 같습니다.

다이아몬드 보석: MPCVD는 고품질의 대형 다이아몬드 보석을 성장시키는 데 사용되는 주요 장비입니다.
다이아몬드 필름: MPCVD는 반도체 산업용 대형 다이아몬드 기판 및 다이아몬드 절단 또는 드릴링 도구를 포함한 다양한 응용 분야를 위한 다이아몬드 필름을 성장시키는 데 사용됩니다.
산업 응용: MPCVD는 절단 도구, 드릴 비트 및 극도의 경도와 내구성이 필요한 기타 산업 응용 분야에 대한 다이아몬드 코팅을 생산하는 데 사용됩니다.
생의학 응용: MPCVD는 생체 적합성과 내구성이 필수적인 인공 관절 및 치과 임플란트와 같은 의료 임플란트에 대한 다이아몬드 코팅을 생산하는 데 사용됩니다.
광전자: MPCVD는 높은 열전도율과 낮은 열팽창이 중요한 고출력 레이저 및 검출기와 같은 광전자 장치용 다이아몬드 창 및 기판을 생산하는 데 사용됩니다.

세부 정보 및 부품

MPCVD 세부 정보

원리

마이크로파 플라즈마 화학 기상 증착(MPCVD)은 연속 마이크로파 소스를 사용하여 반응 화학 물질과 필수 촉매로 구성된 고반응성 플라즈마를 생성하고 유지하는 화학 기상 증착 공정입니다. MPCVD는 다이아몬드 층을 증착하는 데 널리 사용됩니다. 메탄과 수소를 도입하여 다이아몬드 씨앗이 뿌려진 기판에 새로운 다이아몬드를 재배하는 데 사용됩니다.

특징

MPCVD 다이아몬드 장비는 고객에게 이점을 제공하는 여러 가지 장점을 제공합니다.

더 빠른 결정 성장 속도: 기존 방법보다 10-100배 빠르므로 생산 효율성이 향상됩니다.
더 많은 생산 능력: 단일 배치에서 더 높은 생산 능력을 가능하게 하여 대규모 다이아몬드 합성을 가능하게 합니다.
더 높은 품질 성능: 천연 다이아몬드보다 더 높은 경도와 강도를 가진 다이아몬드를 생산하여 내구성과 수명을 보장합니다.
더 다양한 색상: 흰색, 노란색, 분홍색, 파란색을 포함한 다양한 색상의 다이아몬드 생산을 지원하여 다양한 시장 수요를 충족합니다.
더 높은 다이아몬드 순도: 천연 다이아몬드 Type II보다 순도가 높은 다이아몬드를 생산하여 뛰어난 광학적 특성과 다양한 응용 분야에 적합합니다.
다양한 스타일 맞춤 설정: 특정 시장 요구 사항을 충족하기 위해 맞춤형 디자인을 제공하여 다양한 산업에 대한 맞춤형 솔루션을 제공합니다.

기술 사양

마이크로파 시스템 (선택적 전원 공급 장치에 따라)	작동 주파수: 915±15MHz 출력 전력: 3-75kW 연속 조절 가능 냉각수 유량: 120/분 시스템 정재파 계수: VSWR ≤ 1.5 마이크로파 누출: <2mw/cm2
진공 시스템 및 반응 챔버	누출률 < 5×10-9Pa.m3/s 최대 압력은 0.7Pa 미만입니다 (이 장비에는 수입 Pirani 진공 게이지가 포함되어 있습니다). 압력 유지 후 12시간 동안 캐비티의 압력 상승은 50Pa를 초과하지 않아야 합니다. 반응 챔버 작동 모드: TM021 또는 TM023 모드 캐비티 유형: 냉각 원통형 캐비티, 최대 75KW 전력, 고순도, 스톤 링 씰을 처리할 수 있습니다. 입구 방식: 상단 스프링클러 헤드 입구. 관찰 온도 측정 창: 8개의 관찰 구멍이 수평으로 균등하게 분포되어 있습니다. 샘플링 포트: 하단 리프팅 샘플링 포트
샘플 홀더 시스템	샘플 스테이지 직경 ≥ 200mm, 단결정 유효 사용 면적 ≥ 130mm, 다결정 유효 사용 면적 ≥ 200mm. 기판 플랫폼 수냉식 샌드위치 구조, 수직 직선 상하 이동.
가스 시스템	전체 금속 용접 가스 플레이트 5-7 가스 라인 장비의 모든 내부 공기 회로는 용접 또는 VCR 커넥터를 사용합니다.
시스템 냉각	3방향 수냉, 온도 및 유량 실시간 모니터링. 시스템 냉각수 유량 120L/min, 냉각수 압력 < 4KG, 입수 온도 20-25.
온도 측정 방법	외부 적외선 온도계, 온도 범위 300-1400 M

SL901A 장비 주요 부품 목록

일련 번호	모듈 이름	비고
1	마이크로파 전원 공급 장치	표준 국내 마그네트론: Yingjie Electric / Distinguish 전원 공급 장치 국내 솔리드 스테이트 소스: Watson (+30,000) 수입 마그네트론: MKS/ pastoral (+100,000)
2	도파관, 삼핀, 모드 변환기, 상부 공진기	자체 제작
3	진공 반응 챔버 (상부 챔버, 하부 챔버, 커넥터)	자체 제작
4	적외선 온도계, 광학 변위 부품, 브래킷	적외선 온도계, 광학 변위 부품, Fuji Gold Siemens + Schneider 브래킷
5	수냉식 테이블 모션 부품 (실린더, 공작물 등)
6	세라믹 박막 진공 게이지, Pirani 진공 게이지	Inficon
7	진공 밸브 부품 (초고진공 게이트 밸브, 정밀 공압 밸브*2, 전자기 진공 충전 차압 밸브)	Fujikin + Zhongke + Himat
8	진공 펌프 및 연결 파이프 피팅, 티, KF25 벨로우즈*2, 어댑터	펌프: Flyover 16L
9	금속 마이크로파 씰링 링2; 금속 진공 씰링 링1; 석영판	석영: Shanghai Feilihua 반도체 등급 고순도 석영
10	순환수 부품 (조인트, 분배 블록, 유량 감지기)	일본 SMC/CKD
11	공압 부품 (CKD 필터, Airtac 다방향 솔레노이드 밸브, 파이프 피팅 및 어댑터)
12	가스 커넥터, EP 가스 파이프, VCR 커넥터, 필터 0.0023μm 1, 필터 10μm2	Fujikin
13	기계 케이싱, 스테인리스 스틸 테이블, 범용 휠, 발, 브래킷 고정 나사 등	맞춤 가공
14	가스 유량계*6 (압력 제어 1개 포함)	표준 7성, 선택 사항 Fuji Gold (+34,000) / Alicat (42,000)
15	가스 플레이트 가공 (5방향 가스, 필터5, 공압 밸브5, 수동 밸브*6, 배관 용접)	Fuji Gold
16	PLC 자동 제어	Siemens + Schneider
17	몰리브덴 테이블

장점

더 빠른 결정 성장 속도 - 기존 방법보다 10-100배 빠름
더 많은 생산 능력 - 단일 배치에서 더 많은 생산 능력
더 높은 품질 성능 - 천연 다이아몬드보다 높은 경도와 강도
더 다양한 색상 - 흰색, 노란색, 분홍색, 파란색 등
더 높은 다이아몬드 순도 - 천연 다이아몬드 Type보다 순수함
다양한 스타일 맞춤 설정 - 다양한 시장에 따라 맞춤 설정 가능

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FAQ

MPCVD란 무엇입니까?

MPCVD는 Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition의 약자로 표면에 박막을 증착하는 공정입니다. 진공 챔버, 마이크로파 발생기 및 가스 전달 시스템을 사용하여 반응 화학 물질과 필요한 촉매로 구성된 플라즈마를 생성합니다. MPCVD는 다이아몬드 시드 기판에서 새로운 다이아몬드를 성장시키기 위해 메탄과 수소를 사용하여 다이아몬드 층을 증착하기 위해 ANFF 네트워크에서 많이 사용됩니다. 저비용, 고품질의 대형 다이아몬드를 생산할 수 있는 유망한 기술이며 반도체 및 다이아몬드 절삭 산업에서 광범위하게 사용됩니다.

MPcvd 머신이란 무엇입니까?

MPCVD(Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition) 기계는 고품질 다이아몬드 필름을 성장시키는 데 사용되는 실험실 장비입니다. 탄소 함유 가스와 마이크로파 플라즈마를 사용하여 다이아몬드 기판 위에 플라즈마 볼을 생성하여 특정 온도로 가열합니다. 플라즈마 볼이 와벽과 접촉하지 않아 다이아몬드 성장 과정에 불순물이 없고 다이아몬드의 품질이 향상됩니다. MPCVD 시스템은 진공 챔버, 마이크로파 발생기 및 챔버로의 가스 흐름을 제어하는 가스 전달 시스템으로 구성됩니다.

MPcvd의 장점은 무엇입니까?

MPCVD는 더 높은 순도, 더 적은 에너지 소비 및 더 큰 다이아몬드를 생산할 수 있는 능력과 같은 다른 다이아몬드 생산 방법에 비해 몇 가지 장점이 있습니다.

CVD 다이아몬드는 진짜입니까 아니면 가짜입니까?

CVD 다이아몬드는 가짜가 아닌 진짜 다이아몬드입니다. 그들은 화학 기상 증착(CVD)이라는 공정을 통해 실험실에서 성장합니다. 지표면 아래에서 채굴되는 천연 다이아몬드와 달리 CVD 다이아몬드는 실험실에서 첨단 기술을 사용하여 만들어집니다. 이 다이아몬드는 100% 탄소이며 유형 IIa 다이아몬드로 알려진 가장 순수한 형태의 다이아몬드입니다. 그들은 천연 다이아몬드와 동일한 광학적, 열적, 물리적 및 화학적 특성을 가지고 있습니다. 유일한 차이점은 CVD 다이아몬드는 실험실에서 생성되며 지구에서 채굴되지 않는다는 것입니다.

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