스퍼터 타겟을 청소하는 것은 최적의 성능과 수명을 보장하는 데 필수적입니다.
다음은 스퍼터 타겟을 효과적으로 세척하는 데 도움이 되는 단계별 가이드입니다.
스퍼터 타겟은 어떻게 청소하나요? (4가지 쉬운 단계와 4가지 주요 주의 사항)
1. 보풀이 없는 부드러운 천에 아세톤을 적셔 청소합니다.
이렇게 하면 타겟 표면에 있을 수 있는 먼지나 오물을 제거하는 데 도움이 됩니다.
2. 알코올로 청소하기.
알코올에 적신 깨끗한 천으로 타겟을 더 닦고 남아있는 오염 물질을 제거합니다.
3. 탈이온수로 청소합니다.
탈이온수로 대상을 헹구어 아세톤과 알코올의 흔적이 모두 제거되도록 합니다.
4. 타겟을 말립니다.
탈이온수로 세척한 후 대상을 오븐에 넣고 100℃의 온도에서 30분간 건조시킵니다. 이렇게 하면 나중에 사용하기 전에 타겟이 완전히 건조됩니다.
세척 과정 외에도 스퍼터 코터 타겟을 사용할 때 유의해야 할 몇 가지 주의 사항이 있습니다.
1. 스퍼터 준비.
진공 챔버와 스퍼터링 시스템을 깨끗하게 유지하는 것이 중요합니다. 잔여물이나 오염 물질이 있으면 필름 실패 가능성이 높아질 수 있습니다. 스퍼터링 챔버, 스퍼터 건 및 스퍼터링 타겟을 청소하여 시스템 단락, 타겟 아크 및 거친 표면 형성을 방지합니다.
2. 타겟 설치.
타겟을 설치하는 동안 타겟과 스퍼터 건 안정화 벽 사이의 열 연결이 양호한지 확인합니다. 냉각 스테이브 또는 백킹 플레이트가 휘어지면 타겟에 균열이 생기거나 구부러져 열 전도도에 영향을 미치고 타겟이 손상될 수 있습니다.
3. 타겟 사용 최적화.
스퍼터링 시스템에서 타겟은 박막 코팅을 위해 스퍼터링되는 고체 재료입니다. 타겟이 의도하지 않은 다른 부품의 스퍼터링을 방지할 수 있을 만큼 충분히 큰지 확인합니다. 타겟 표면에서 스퍼터링 효과가 우세한 영역(예: 레이스 트랙)은 해결하거나 교체해야 할 수 있으므로 주의를 기울이십시오.
4. 실리콘 스퍼터링 타겟.
실리콘 스퍼터링 타겟으로 작업하는 경우 적절한 공정과 방법을 사용하여 제조된 타겟을 선택하는 것이 중요합니다. 여기에는 전기 도금, 스퍼터링 및 기상 증착이 포함될 수 있습니다. 또한 바람직한 표면 조건을 달성하기 위해 세척 및 에칭 공정이 필요할 수 있습니다.
이러한 단계를 따르고 예방 조치를 취하면 스퍼터링 공정에서 스퍼터 타겟을 효과적으로 세척하고 사용할 수 있습니다.
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